ナガセテクノエンジニアリング

＜用途＞

・薄ウエハのハンドリング
・ウエハ薄化
・Fab改造なく既存装置の活用

＜導入メリット＞

・瞬時の接着・剥離による高いスループット
・基盤への損傷を防ぎ、歩留まりを向上
・あらゆる形状、複数サイズに対応
・接着剤不使用で追加のクリーンステップ不要

H-Square社製の各種装置を展示デモいたします。

• ウエハ移載装置
• ウエハ反転装置
• ウエハアライナー
• ポータブル真空ピンセット
• 非接触ハンドリングツール
• ウエハ外縁ピック
• フォトマスク搬送ピック
• 各種プロセス用／搬送用カセット

様々なご要望にお応えいたします。

静電気の力で塗布する液剤を微小サイズ（数μmレベル）まで細かい液滴にします。このレベルの液滴はほとんど目視で確認ができません。また液滴が微小で軽すぎる為に通常であれば基材に落下せず、多くは霧のように漂ってしまいますが、この工法は静電気力で吸い付けるように基材に塗布する為、このような微小な液滴で基板に吸い寄せるようにコーティングが可能となります。

私共ではこの特殊なスプレーコーターを製造販売しております。また弊社横浜センターにはデモルームを完備しており、その効果を体験して頂けます。

展示会場に小型機のPDR-04型を展示します。是非ともご来場ください。

https://www.nagase-nte.co.jp/product/mm.html

フォトレジスト、溶剤、微粒子を含む液剤、高粘度材料のコーティング

＜特長＞

• 稼動後、短時間で清浄空間を実現します。
• 作業空間が囲われていないオープン構造で作業がしやすい。
• 作業空間のコンタミを素早く排出し空間内の清浄度を維持します。
• コンパクトで設置場所を選びません。
• 研究室でも生産現場でも使いたい場所に設置が可能。