NSR-S635Eは高機能アライメントステーション「inline Alignment Station(iAS)」を搭載することで、重ね合わせ精度とスループットを同時に向上させた5 nmプロセス量産用に開発された
Streamlign Platform採用のArF液浸スキャナーです。
これにより、 NSR-S635Eは装置間重ね合わせ精度（MMO：Mixand Match Overlay）2.1 nm以下、スループット毎時275枚以上（96 shots）という極めて高い精度と生産性を実現しています。