日本カノマックス

主な特徴

●特許取得済みの独自ネブライザー
●光散乱式の検出限界以下の粒径を測定可能
●測定粒径は3, 9, 15nm のチャネル設定可能
●粒子になりえる不揮発性物質や液中の粒子を測定可能
●超純水および希釈溶剤（IPA, H2O2, アンモニア, HCl)に対応
●SEMI ガイドラインに推奨されている認定測定器
●最小限のメンテナンスで使用可能

アプリケーション
●超純水の粒子汚染を常時モニタリング

主な特徴

●高分解能の粒径分布測定 (64 チャンネル/1 桁当たり）
●広い測定範囲(6~562nm)
●サンプル粒子を個々に分級し計数
●最小限のサンプル調整で、高速測定（6 分以内）

アプリケーション
● 化学機械研磨スラリー
● SEMI 規格C79-0113 に準拠したフィルター試験
● 環境ナノ粒子汚染

主な仕様

分解能 　　　　≧30,000（FWHM）
質量範囲 　　　m/z 1~1,000
イオン化方式　 電子イオン化（EI)
取込速度　　　 20～60,000msec
寸法、重量 　　W270×H460×D550mm（突起部は含まない）、39kg

アプリケーション
●半導体プロセスガスのリアルタイムモニタリング
●窒化物半導体の反応解析
●同位体分析

主な特徴

●最大144chまでの同時測定が可能
　風速・風温・湿度を最大144ch同時測定が可能。

●互換性プローブは15種類
　15種類の多彩なプローブを用意しています。
　お客様のご要望によってお好きな組み合わせが可能です。
　風温・湿度の同時計測もチャンネル数を減らす必要がありません。

●大型ディスプレイ搭載
　本体ユニットには7incの大型ディスプレイが搭載されています。
　これによりPC不要で設定、データ保存が可能です

主な特徴

●0.1μm、0.3μmの同時計測ならびに計測結果の表示が可能です。
●大きくて使いやすいタッチパネル式4.3インチカラーディスプレイ。
●RS-485、Ethernet、USBを標準装備。
●日本語、英語に対応。
●ISO21501-4およびJIS B 9921に準拠。