日本高周波

・マグネトロン電源に比べ、発振周波数、発振波形、出力電力の安定性に優れています。
・発振周波数を可変できるため、装置に合わせた細かな制御が可能です。
・小型、軽量化を実現しました。アンプユニットはマグネトロン発振器と同等サイズです。
・パルス発振、位相制御、アナログ制御などをオプションで対応も可能です。
・アイソレータ、方向性結合器、3E TUNERと組み合わせてご使用いただけます。

・マグネトロン電源に比べ、発振周波数、発振波形、出力電力の安定性に優れています。
・発振周波数を可変できるため、装置に合わせた細かな制御が可能です。
・小型、軽量化を実現しました。アンプユニットはマグネトロン発振器と同等サイズです。
・パルス発振、位相制御、アナログ制御などをオプションで対応も可能です。
・アイソレータ、方向性結合器、3E TUNERと組み合わせてご使用いただけます。

・従来モデルよりも小型、軽量化を実現しました。
・導波管のE面（長辺）に3個の可動短絡器を置いた3要素チューナ型で、スタブ棒形に比べて耐電力が高く、5kWまで使用可能です。
・高速で自動整合を行います。
・整合範囲がVSWR10までと広く、全位相で整合が可能です。
・2400MHzから2500MHzの広帯域で使用可能です。
・冷却水が不要な自然空冷タイプです。
・電力検出器からの進行波検波電圧と反射波検波電圧をモニタ信号として出力します。
・制御部は本体に内蔵されています。
・PCやCONTROLLERを接続して各種制御設定やモニタが可能です。
・PC操作用のソフトウェアを付属しています。
・パルス出力対応、外部制御方法、インターフェースなどは相談可能です。

・データロガー等の電圧測定器に接続し、モニタ表示や記録が可能です。必要最小限の構成で機能は絞り、使いやすくしました。お手持ちの電圧測定器や方向性結合器と接続してご使用いただけます。
・マイクロ波インピーダンスの観点で、負荷を非接触にモニタ
　プラズマの条件出しや常時モニタを行い、プロセス異常時の負荷状態確認の手法として有用で、その他の電子密度や発光などのデータと併用すれば複合的なプラズマ測定に役立ちます。