日本電子

千代田区大手町2-1-1,  東京都 
Japan
http://www.jeol.co.jp
  • 小間番号4208

半導体試料観察が得意なFE-SEMのJSM-IT800i/isによるファンクションデモを実施します。また、新発売されたWindowlessEDSのGather-Xを展示、特性X線をより効率良く高感度で分析できます。あわせて理科学・計測機器や電子ビーム描画装置などの装置紹介とそれらの機器を用いた、データ解析事例の紹介なども行います。

 出展製品

  • ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡 JSM-IT800<i>/<is>
    走査型の電子顕微鏡です。...

    • JSM-IT800は、高分解能観察を実現するための "インレンズショットキーPlus電界放出形電子銃" と次世代型電子光学制御システム "Neo Engine"、高速度元素マッピングを実現するために使いやすさを追求したGUI "SEM Center" に自社製EDSを組込んだシステムを共通のプラットフォームとしています。

    SEMの対物レンズをモジュールとして置き換えることで、お客様の様々なニーズに応じた装置を提供します。
    JSM-IT800には、対物レンズの違いにより、汎用FE-SEMであるハイブリッドレンズバージョン (HL)、より高分解能観察や分析を可能にするスーパーハイブリッドレンズバージョン (SHL/SHLs、機能の違いにより2バージョン)、半導体試料観察を得意とするセミインレンズバージョン (i/is 、機能の違いにより2バージョン) と5つのバージョンをラインナップしました。

    さらに、JSM-IT800には、新しい反射電子検出器であるシンチレーター反射電子検出器 (SBED) と多目的反射電子検出器 (VBED) が搭載可能です。SBEDでは応答性の良い、低加速電圧での材料コントラスト像の取得ができます。VBEDでは、3D、凹凸、材料コントラスト像の取得が出来るため、今まで得られなかった情報の取得やお困りの測定への改善が期待できます。
  • Gather-X JEDシリーズ ドライSD™ Windowless EDS
    Windolessタイプのエネルギー分散型X線分析装置です。...

    • 軽元素から重元素までストレスフリーなEDS分析を実現！
    カーボンニュートラルが牽引役となり、素材開発はより重要となっています。電池材料で例えるとLiなどの軽元素からNi,Co,Mnなどの遷移金属までの幅広い解析が必要です。
    半導体材料や触媒のナノ粒子の解析には特性X線をより効率良く、高感度で分析するニーズが増えています。
    新開発のドライSD™ Gather-XはJSM-IT800に搭載可能 (※) なWindowlessタイプのEDSです。Li-K (54 eV) に代表される低エネルギー特性X線を含んだ全エネルギー帯域での高感度Ｘ線分析が可能、さらに、JSM-IT800と連動した安全機能とSEM/EDS統合ソフトウェアにより、使う方を選ばない安心・快適な操作性を提供します。

    ※JSM-IT800＜HL＞/＜SHL/SHLs＞に搭載可能
  • ハイスループット解析電子顕微鏡 JEM-ACE200F
    半導体解析用の自動観察TEMです。...

    • JEM-ACE200Fは操作ワークフローのレシピを作成することによって、オペレーターは直接電子顕微鏡操作を行わなくてもデータを取得できるシステムに対応した電子顕微鏡です。
    ハイエンド電子顕微鏡であるJEM-ARM200Fや汎用FE-TEMであるJEM-F200のハードウェアテクノロジーを統合して高安定性、高分解能を実現し、装いも新たに洗練されたデザインでデビューしました。
  • 電子ビーム描画装置 JBX-8100FSシリーズ
    スポットビームタイプの電子ビーム描画装置です。...

    • スポット型電子ビーム描画装置JBX-8100FSは、従来装置よりもオペレーション中や描画中の無駄時間を極力省くことでスループットを向上させ、省スペース、低消費電力を実現した装置です。

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