日本ブッシュ

平塚市,  神奈川県 
Japan
http://www.busch.co.jp/
  • 小間番号3612


真空ポンプのブッシュです。 世界の半導体業界で実績多数。導入実績や実機をブースでご紹介します。ぜひお越しください。

世界の産業界で実績を積むブッシュ。
真空ポンプ単体から、集中真空システム、サブファブの管理まで、
半導体業界の真空はブッシュにおまかせ下さい!

SEMICON JAPANでは、幅広い真空ポンプ製品群から、 半導体業界の
アプリケーション向けに開発された製品の実機を展示いたします。

 ===出展製品===    

  • ロードロック専用:
    ★業界最高レベルの省エネ★
    多段ルーツ真空ポンプ TORRI BD100
  • リーク検出器:
    ★台車付き可動式★
    スニッファー法真空法双方可能 TAPIR HL 1102

皆様のご来場をスタッフ一同お待ちしております。


 出展製品

  • ロードロック用ドライ真空ポンプ「TORRI」
    TORRI多段ルーツ式真空ポンプは、ロードロックチャンバーの排気向けのコンパクトでエネルギー効率に優れたドライ真空ポンプです。 優れた到達真空度、クラス最高レベルの排気速度、省エネが特徴です。...

  • 特徴
    • 低振動かつ低騒音
    • 軽量
    • 小型
    • ドライかつ非接触式の動作原理
    • 長い耐用年数
    • 低い総所有コスト
    メリット

    TORRI BDは、市場で最小、最軽量、そして最もエネルギー効率の高い多段ルーツ方式のドライ真空ポンプの1つです。そのためこの製品は、ロードロックチャンバーの排気に最適なソリューションとなっています。

    定評ある動作原理により、優れた到達真空度を達成します。同等クラス最高レベルのチャンバー排気速度で、平均サイクルタイムを短縮します。

    完全にオープンな通信プロトコル(Modbus RTU)のため、標準的なインターフェイスコンポーネントを使用して特定のネットワークにも簡単に適応できます。

    オプションのLCDコントローラーで、ポンプのステータスを簡単にモニタリングすることができます。モーター温度、モーター電流、冷却水流量、ポンプ本体温度などの関連するすべてのパラメーターを表示できます。

    スペック
    テクニカルデータ

    TORRI
    BD 0100 A

    TORRI
    BD 0300 A
    TORRI
    BD 0600 A
    設計排気速度 m3/h 100 300 600
    到達真空度 hPa (mbar) 0.01
    定格モーター出力: バックポンプ (kW) 2.2
           〃             : メカブ (kW)   -  2.2
    到達真空度における消費電力 (kW) 0.4 0.5 0.6
    冷却水流量 (l/min) 1.0 2.0 2.0
    質量 60 120 120
    外形寸法 (L×W×H) (mm) 450×230×275 530×230×520 530×230×520

  • リークディテクター「TAPIR」
    真空システムのリーク箇所と量を正確に特定することで、プロセス全体の出力品質、効率性、信頼性が高まります。...

  • 特徴
    • 正確な測定結果
    • 超高速応答
    • 短時間での起動
    • 脱着式コントロールパネル
    • 高解像度カラー表示のタッチパネルディスプレイ
    • 直感的なメニューナビゲーション
    • カスタマイズ可能なパラメーター設定
    • SDメモリカード内蔵
    メリット

    TAPIRは、Buschの新しいリークディテクターです。どのモデルも真空法とスニッファー法の双方に対応し、幅広いアプリケーションでお使いいただける設計です。これらのリークディテクターは、応答と起動時間の速さと、測定結果の正確さを特徴としています。

    TAPIRには2種類のバージョンがあります。1つは、ドライダイヤフラム真空ポンプと一体型の小型で超軽量なポータブルバージョンです。サービスエンジニアに最適な装置です。場所を移動しながら使えるため、大型機械や配管回りでのスニッファー法利用に最適です。

    もう1つは、大容量のオイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプを搭載した、高速で汎用性が高いバージョンです。高速排気により、検出ガスを素早く検知します。このディテクターは作業台などに設置してお使いいただけます。また、自動化された生産ラインに組み込むこともできます。

    どちらのバージョンにも、高解像度カラー表示の脱着式タッチパネルコントローラーを搭載しています。マグネット付きのため、金属製の壁や柱に取り付けることができます。リークがある場合、TAPIRのディスプレイにリーク量が表示されるか、音でお知らせします。

    関連データはすべて内蔵のSDメモリカードに保存できます。データのダウンロードは簡単で、リークテストの結果の文書化や後処理に利用できます。メニューの構造は分かりやすく、直感的に操作できます。パラメーター設定はすべてカスタマイズ可能です。ユーザーが自身のプロセスで重要となるデータを表示させることができます。