レーザー光と光学を応用した新しい検査/解析技術の他、装置や設備に組み込み可能な測定、計測技術を紹介致します。
ガラス基板、シリコン・ウェハ、フォトマスク、ハードディスク基板上の欠陥、異物の検査、解析に最適な製品や、1台のヘッドに3機能を搭載した多機能な3D測定顕微鏡を出展いたします。
- 高速レーザー・スキャニング欠陥検査装置 （Lumina Instruments社）
- ナノスケール赤外分析装置（Molecular Vista社)
- 3D測定顕微鏡（Sensofar Metrology社）
その他、以下の製品も併せて紹介致します。
- 超高真空対応、組み込み用レーザー干渉式変位センサ（attocube社）
- 超高真空、非磁性対応ナノ位置決めステージ（attocube社）
- 半導体リサーチ用AFM（CSI Instruments社)
- 高精度・多層膜・非接触 膜厚計（Bristol Instruments社)
- ツインエアー方式高精細ディスペンサ（エンジニアリング・ラボ社）
- 飛行時間型ガス分析装置（Spacetek Techonology社)
出展製品