ハイデンハイン

千代田区, 東京都
Japan
http://www.heidenhain.co.jp/

小間番号5125

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出展製品

半導体製造に適したハイデンハインの高精度位置決め技術をご紹介します。

ハイデンハインの半導体製造・検査装置向けソリューションとして、

Multi-DOF多自由度測定技術: LIP 6000 DplusおよびGAP 1081
リニアエンコーダ: LIC 3000シリーズ、MC 15シリーズ、LIKgoシリーズ、LIKselectシリーズ
角度エンコーダ: ERP 1000シリーズ、 ERO 2000シリーズ、MCR 15シリーズ

といった、お客様の幅広いニーズに応えた製品を各種出展いたします。

出展製品

2自由度測定用高精度インクリメンタルオープンタイプリニアエンコーダLIP 6000Dplusシリーズ

LIP 6000 Dplus は±45°の2つの斜線目盛を搭載したガラスセラミックスケールを採用し、測定長全体にわたって主方向Xとその直交方向Yの同時測定が可能なエンコーダです。EnDat 3インターフェースにより2つの位置値を1本のケーブルでコントローラに送信できるため、配線や設置を簡単にするとともに、モーションシステムの動的性能を最適化します。... More Info Less Info

OPTODUR位相格子付きZerodurガラスセラミック

目盛間隔: 8 µm
熱膨張係数: (0 ±0.1) · 10^–6 K^–1
測定分解能: 172 pm
最大測定長(X方向): 3040 mm
測定長(Y方向): ±2 mm
インターフェース: EnDat3

ギャップエンコーダGAP 1081シリーズ

特殊ミラーを搭載したガラスと走査ヘッドで構成された垂直方向のギャップ測定用エンコーダ。GAP 1081のミラーは最長3ｍまで対応するため、LIP 6000 Dplusと平行に取付けることで、直線軸に沿って連続的にX、Y、Zの3自由度同時測定が可能。さらに、1つのミラーに2つの走査ヘッドを配置することで、直線軸のピッチとヨーの両方を測定することもできます。 ... More Info Less Info

OPTODURミラー付きガラス

測定範囲: ±2 mm
ミラー長さ:３ｍまで対応
インターフェース: 1V_PP

高速アブソリュートオープンタイプリニアエンコーダ LIC 3100シリーズ

LIC 3000シリーズは、最大測定長10m、最高走査速度 600 m/min、測定分解能10 nmの絶対位置測定が可能なアブソリュートオープンタイプリニアエンコーダです。さらに動的性能と耐環境性にも優れているため、多くのアプリケーションで高速で高精度の位置決めを実現します。... More Info Less Info