プラズマダイシングをはじめ、最新のプロセス技術をご紹介いたします。
複数のサンプルも展示しています。是非、ご来場ください。
・プラズマダイシング装置、ドライエッチング装置、プラズマクリーナー、デバイスボンダー、スパッタ装置、ＩＣＰトーチ、３次元測定器、を展示。前／後工程における最新デバイスものづくりに貢献する技術、高コストパフォーマンスの装置をご紹介します。
・最新のデバイス（パワーデバイス、ＭＥＭＳ、通信デバイス、ＬＥＤ等）に用いる独自技術やノウハウ、豊富なアプリケーション実績、ウェハーレベル・パッケージング技術に関して、ご説明いたします。
・パナソニックブースまで、是非、ご来場ください。