浜松ホトニクスは、光の技術集団として、光の基礎研究と各種光関連製品の開発・製造・販売を行っています。
微細パーティクル/微細欠陥検出にお困りの方に、レーザ励起プラズマ光源・InGaAsカメラを提案します。
弊社のレーザ励起プラズマ光源は優れた輝度と波長範囲・寿命特性を持ち、検査工程の時間短縮・精度向上に貢献します。InGaAsカメラは950 nm～1700 nmの近赤外波長領域に高い感度を持ち、14 bitの画像取得や露光時間の調整が可能なUSB 3.0インターフェースを装備しています。
紫外線・赤外線・X線・電子線などの波長域に対応した受発光デバイスにより、非破壊・非接触での微小異物や微細欠陥の検査を可能にします。
プロセスのリアルタイムモニタリングにお困りの方に、膜厚計・プラズマプロセスモニタを提案します。
弊社のOpticalGaugeシリーズは、多層/積層・インラインでの膜厚計測において非接触で高速かつデフォーカス依存性や角度依存性にすぐれ、長いワーキングディスタンスでIn-situ測定にも対応することができます。
プラズマプロセスモニタはプラズマ発光を広帯域にリアルタイムで検出することにより、プラズマ種推定や混入不純物・異常放電の監視等に貢献します。
次世代白色光源です。 紫外～赤外(170 nm～2500 nm)の広い発光波長と、高輝度点発光(発光点サイズ:最小Φ0.1 mm)・長寿命の高い性能を実現しました。 発熱の少ない小型ランプヘッドを持ち、限られた空間での実験や装置組み込みに最適です。また、ランプヘッドに自然空冷方式を採用したことで冷却ファンによる振動がなく、光出力安定性にも優れます。 拡散照射タイプとファイバ照射タイプをご用意しています。 最先端の半導体検査や膜厚測定などで採用が始まっています。
アナログ出力（EIA）および14 bitの画像取得や露光時間の調整が可能なUSB 3.0インターフェースを装備しています。低ノイズで、高倍率でのSiデバイス観察等、十分な光量が得られない環境でもS/Nよく撮影可能です。Siウェーハ／デバイスの内部検査をはじめ、レーザビームの位置合わせ、太陽電池の評価等幅広い用途でご利用いただけます。
分光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置です。
最新機種のC13027は、シーケンサ接続や膜厚と色の同時計測機能に加え、装置組み込みを容易にするために、従来製品に比べ小型化を実現しました。Optical Gaugeシリーズでは最も薄い10 nmの極薄膜測定に対応することが可能です。10 nm～100 μmと幅広い膜厚測定範囲の対象に適応しています。さらに、最速200 Hzの高速測定も可能なため、高速ラインでの測定にも対応することができます。
半導体製造工程の中でプラズマを使用するエッチング、スパッタ、CVD等において、プロセス中のプラズマ発光を広帯域にリアルタイムで検出する装置です。
各種解析機能により、「エッチングやクリーニングの終点判定条件設定や自動判定」、「プラズマ種推定」、「混入不純物や異常放電の監視」等に利用できます。