弊社独自の新測定技術「HS-CMR法」によりウェハの表面および内部の品質を明確に評価できます。HS-CMR法(High Speed-Current Modulating Resistivity法）は、従来の四探針抵抗率測定法に新たな理論を統合することにより生まれた、東北大学金属材料研究所発の結晶品質測定新技術です。
可変電流により抵抗率を測定し、その印加電流・抵抗率プロファイルを解析することにより、ウェハの表面および内部の結晶品質を簡便に測定することが可能です。
アズスライスウェハや、研磨工程内といった比較的ウェハが汚染されている状態でも、その状態を考慮した表面品質および内部品質を包括的に高精度で測定が可能です。