ようこそヒューテックの展示ブースへ。 膜厚計測にご興味・ご関心がございましたら、是非、製品情報をご覧になってください。
展示会では膜厚計測装置を展示いたします。
新規開発した高速膜厚計測の技術は、製造タクトタイムに影響を与えることなくIn-siteでウェハ面内の数万点のデータを瞬時に計測を可能とします。
約半世紀にわたり、ロールtoロールの生産現場で外観検査及び膜厚計測の専業メーカーとして培ってきた経験と技術で、皆さまの品質向上に貢献します。
300mmウェハで秒間40000ポイント以上の膜厚データを計測可能です。
EFEM内に設置し、ウェハの搬送中に計測が完了します。
計測データはCSVデータで上位に共有され、後工程での解析/分析作業のタクトタイムを大幅に改善します。