来年４月には大学発ベンチャー企業から平面度・形状測定機の上市を予定しております。
ホログラフィ技術を用い、大面積表面の凹凸形状や平坦度をワンショットで高精度測定可能な新測定法を開発しました。ホログラム記録の露光時間は100μs程度ですので、除振台は不要のため置き場所を選びません。今回の展示では最大測定寸法φ10ｍｍの機種とΦ135ｍｍの大径対応の機種を予定しています。なお、本件はＪＳＴの大学発新産業創出プログラム（ＳＴＡＲＴ）の支援を得ており、来年春商品化予定です。
高さ： 数nm～数mm
高さ精度： 1ｎｍ
横分解能： 5μｍ（測定寸法φ10ｍｍの機の場合）
90µｍ（測定寸法Φ135ｍｍの大径対応機の場合）
出展製品