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・輸送中のシール性を保つ高剛性構造
・マニュアル開閉機能付き
・一体成型構造によって、洗浄後の乾燥時間を短縮
・SEMI規格準拠
・金属異物低減
・軽量化
・作業性向上
・四半世紀を超える実績
・プレス成型、圧空成形、真空成型の3方式をそろえる
・超低背チップ、極小部品に対応
・パネルサイズ(600mm×600mm/510mm×515mm)
・12スロット/6スロット
・サイズ:740mm×703mm×387mm(高さ)/619mm×699mm×387mm(高さ)
・ロードポートによるメカニカルインターフェース、手動開閉可能
・湿度コントロール