フジキン

中央区八丁堀,  東京都 
Japan
http://www.fujikin.com
  • 小間番号4624

フジキンは昨年に引き続き「SEMICON JAPAN」に出展いたします。

皆様にご愛顧いただいている製品に加え、新製品のご紹介もいいたしますので、

是非ご来場くださいますようお願い申し上げます。


 出展製品

  • 半導体製造装置用 超小型IoTバルブ
    2022年 第19回超モノづくり部品大賞 機械・ロボット部品賞 受賞! ...

  • ・バルブの開閉をセンシング
    ・超小型IGSに小型センサ搭載
  • 新型高温高耐久バルブ(インナーディスクタイプ)
    大流量!高温使用可能!...

    • ダイレクトダイヤフラム構造でCv値1.8を実現
    • 流体温度200℃、環境温度150℃で使用可能
  • ピエゾ内蔵バルブ(圧力制御式)
    ピエゾ内蔵バルブ(圧力制御式)...

    • 圧力制御可能
    • 目標値の設定により、供給圧を自動制御可能