フローベル

渋谷区恵比寿, 東京都
Japan
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小間番号4733

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出展製品

◎表裏アライメントマークや両面露光パターンの表裏位置ずれ計測が可能な【両面顕微鏡位置ずれ計測システム】

◎ピント合わせを自動化する【高速オートフォーカスユニット】

◎幅広い波長域(400nm～1700nm)まで可視化ができる【ペルチェ冷却SWIRカメラ】

を出展致します。

●両面顕微鏡⇒表裏観察、ずれ量計測等、安価にマルチ計測が可能
●オートフォーカスユニット⇒顕微鏡やFA装置に後付け、個人による誤差をなくし自動化が可能

●SWIRカメラ⇒400nm～1700nmまでの広域での波長領域の観察が可能

出展製品

電動XYステージ両面顕微鏡システム (TOMOS-60XY)

両面露光されたパターンや表裏のアライメントマークの位置ずれを計測するシステムです。 ◎水晶振動子、ＭＥＭＳ、インクジェットノズル、半導体電子部品などの検査に！ ◎表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能！ ◎±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定！（被写体や環境条件により異なる） ◎表裏２ｃｈオートフォーカスユニット組み合わせ可能！（オプション） ◎電動ＸＹステージ制御システム！ ◎6インチＸＹステージを搭載！ ◎装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能！... More Info Less Info

【用途】

【観察】

電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、
フィルターなどの表裏同時観察

■落射、透過、落射＋透過照明で撮影が可能
■両面同時観察、画像ファイリング、動画記録

【表裏位置ずれ計測】

水晶振動子、ＭＥＭＳなどのアライメントマーク、
貫通穴の表裏位置ずれ計測

■表裏画像の重ね合わせ表示、計測
■測定個人差の無い自動計測が可能

【表裏寸法計測】

水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法測

■両面同時に寸法計測
■測定個人差の無い自動計測が可能

高速オートフォーカスユニット（カメラ付) MimicⅡ-AF

顕微鏡やFA装置に後付け可能なフォーカスユニットです。微細な被写体に対し、高速にフォーカスを合わせます。お手持ちの撮影環境に後付け可能な単体ユニットタイプ。様々な環境でオートフォーカスを使用可能。... More Info Less Info

フォーカスイメージ

細胞を映したイメージ

・オートフォーカスを高速・高精度で実現し、円滑なフォーカス作業を支援
・画像コントラスト方式の採用で様々な顕微鏡に後付け可能な汎用性の高い環境を実現
・1ステップでオートフォーカスを実行できる簡単操作
・ユーザーの好みに合わせカスタマイズできる豊富なカスタムモード
・オートフォーカス動作時の安全性を高めるソフト・ハードウェアリミット機能を搭載

オートフォーカス技術

独自アルゴリズムを画像コントラスト方式に組み合わせたオートフォーカス機能を搭載。
画像コントラスト方式により、カメラ映像のみでオートフォーカスが行えるため、センサー等を追加する必要が無く、お手軽に導入することが可能です。※１

入力映像の画質、撮影環境、その他外部機器による補正等により正常なオートフォーカスが行えない場合があります。

検索設定機能

3種類の検索設定により、撮影対象へしっかりとフォーカスすることができます。

基本検索：一定範囲を検索し、鮮明な所にフォーカスする設定
対象選択検索：鮮明な所が複数ある際に、フォーカス対象を指定できる設定
クイック検索：鮮明な所が見つかった時点で検索を完了する設定

画像鮮明化機能搭載_SWIR（400~1700nm）カメラ

SWIR（近赤外）カメラを出展いたします。 400-1700nmの広い波長域に対応し、可視光帯域・SWIR帯域の両方で使用できるカメラとなります。別売りの高速オートフォーカスユニット(MimicⅡ-AF)との接続も可能です。 ... More Info Less Info

SWIRカメラは、通常のカメラでは対応できない近赤外領域の撮像が可能ですので、新たな検査領域への活用が期待されています。シリコンウエハーの透過観察や、食品の打痕検査、農産物の鮮度検査、異物混入検査、樹脂や煙の遠方の霞の透過、火の検知の確認など様々な用途で活用可能なカメラです。

【SWIRカメラ仕様】

◎センサー仕様

センサー：IMX990-AABA-C　冷却付き

イメージサイズ：対角8.2mm(1/2型)

有効画素： 1296x1032

感度範囲： 400nm～1700nm

映像出力： 12bit/10bit/8bit

◎カメラ仕様

電源：DC12V(12～24V)、POCL無

レンズ：Cマウント

IF：カメラリンク(Base)

画素：1280x1024

フレームレート：71.53[frame/s](12bit)/134.73[frame/s](8bit)

映像出力：12bit/8bit

機能：オートシャッター(Avg、Peak)、スローシャッター(0.1msステップ、MAX5分)

　　　ゲイン

　　　ガンマ補正

　　　シャープネス

　　　上下反転、左右反転

　　　コントラスト強調

　　　温調(ペルチェON/OFF、ファンON/OFF)

　　　トリガーモード

　　　ROI

　　　設定値の最大、最小取得(設定範囲)

　　　欠陥補正

　　　シェーディング

　　　鮮明化

　　　3DNR、フレーム加算による多bit化(14bit出力)

その他：電源用LED、電源SW