アールデックの展示ブースにご興味を持って頂き有難うございます。是非お立ち寄り頂き、製品についてご質問頂けたら幸いです。
ウェハ表面温度モニタ、ウェハ反り・応力モニタ、半導体薄膜の成長レート・膜厚モニタなど米国k-Space社製のリアルタイム半導体ウェハモニタを中心に展示しています。
また、米国Veeco社製の蒸着源（Kセル、窒素プラズマセル、バルブドクラッカーセル）の紹介も行っています。
一押しの製品としまして製品名DryForceという、ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを組み合わせてタッチパネルで排気制御を行える真空排気セットも展示しています。
600℃まで高速加熱の場合、ウェハ反りの２Dスキャンマッピング測定が可能です。
1000℃までの高速加熱の場合、ウェハ反りのラインスキャン測定が可能です。
BandiT温度モニタNIRタイプ: Si, GaAs, Siなど用
BandiT温度モニタVISタイプ: SiC, GaN, ZnOなど用
BandiT温度モニタUVタイプ: AlNなど用
k-Space製品で実績のある”温度モニタ”と”反り・応力・膜厚モニタ”を１つのシステム（ソフトウェア１つ）に統合しました。主にMOCVD/MOPVPE装置用です。ハードウェアの追加にて後々の機能追加も可能です。
ターボ分子ポンプ： 280L/s
ドライ真空ポンプ: 250L/s
真空計： クリスタルイオンゲージ（大気圧～4x10-8Pa）
入力： AC100V to 240V/15A