本多電子

豊橋市大岩町,  愛知県 
Japan
https://www.honda-el.co.jp/
  • 小間番号4831


半導体製造に関わる超音波製品を展示します。

半導体ウェーハやハードディスク等の洗浄に適した高周波の超音波洗浄機、高温薬液に対応した超音波流量計をご紹介いたします。

展示予定製品

  • W-357BMシリーズ(高周波セパレート型バッチ式洗浄機)
  • W-357LMシリーズ(流水式洗浄機パルスジェットラインタイプ)
  • W-357-1MPG(流水式洗浄機ポイントタイプ)
  • W-357-1MQG-SKC(石英振動体型洗浄機)
  • WDX-600-Ⅱ(低周波セパレート型洗浄機)
  • HLF820(流量計)
洗浄のお悩み、超音波技術のパイオニアが解決します。
本多電子は超音波一筋で65年。
多彩な洗浄機ラインナップより、お客様にぴったりな洗浄機をご提案します。
洗浄について、お困りごとがありましたら是非弊社ブースにてご相談ください。


 出展製品

  • W-357BMシリーズ
    発振器と振動子ユニットで構成されるセパレートタイプの洗浄機です。 バッチ式洗浄で半導体ウェーハを一度に複数枚洗浄ができます。 お客様の御要望に応じた振動子ユニットを製作致します。 特長 ・デジタル制御により、安定した発振が可能です。 ・多彩なインターフェースにより、洗浄装置に合わせた制御が可能です。 ・1W単位での超音波出力調整が可能です。 ...
  • W-357-1MQG-SKC
    石英振動体に超音波を重畳させてウェーハやマスクを洗浄する洗浄機です。 低ダメージ、高クリーン度を実現しました。 特長 微細化パターンのウェーハを低ダメージで洗浄 石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄します 石英振動体から薬液を通じて半導体ウェーハに超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。...
  • W-357-1MPG
    定電力デジタル発振器採用のパルスジェット洗浄機。 水温・周囲温度の変化に対応し、安定した超音波を発振します。 振動子の駆動周波数は、振動子の電圧・電流の位相を一定にするよう追従します。出力は、振動子への供給するエネルギーを一定にするため定電力で制御しています。周波数の追従と定電力制御が協調することにより、振動子からの超音波発振を安定化するとともに、発振器の損失を抑えます。 ノズル交換時の発振器の調整が不要 同一仕様のノズルとケーブルに交換する場合、発振器との調整が不要でメンテナンスが容易です。...
  • W-357LMシリーズ
    超音波振動をクリーンな水流に乗せて洗浄するパルスジェット洗浄機です。 カーテン状の洗浄液流水でパーティクルを除去します。 主に液晶ガラスを洗浄するために、カーテン状の洗浄液流水に超音波を重畳させてパーティクルを洗浄するラインタイプの流水式超音波洗浄機です。この方式もポイントタイプと同様に、パーティクルの再付着がなく、サブミクロンのパーティクル除去率が高いという特徴があります。...