Micro-Epsilon Japan

30種を超える標準プローブに加え、カスタムにも対応します。真空対応に可能なセンサも豊富に取り揃えているため様々な用途でご使用いただけます。
最小計測スポットサイズ2.5umで横高分解能での計測が可能です。加えてナノメートルレベルの縦分解能を持つターゲットの厚さ、高さを高分解能で計測できます。また、ひとつのセンサーで同時に5層まで計測が可能です。測定可能な対象物は幅広く、ガラス等の透明物・金属やプラスチック等の非透明物・高温のガラスや液体、空気層等特殊な対象にも対応できます。
プローブ部の種類は多岐にわたり、極小タイプ、高傾斜角タイプ、90°出射タイプ、真空対応タイプ等、様々なアプリケーションに対応します。小型90°出射タイプでは小径シリンダーの内部計測が可能となります。光ファイバーのみで接続されるプローブに駆動部や電子回路などの熱源はないので、電気ノイズの影響も受けない信頼性の高い計測が可能です。
コントローラーはユニバーサルデザインでユーザーフレンドリーな設計でラボからインラインまで様々な用途からの要望に対応します。また、1台で2つのプローブで計測・同期が可能なモデル等もラインナップしています。すべてのコントローラーでアクティブな露光コントロールが内蔵されているので、表面状況の変化をリアルタイムに認識して、安定して、信頼性の高い計測が可能となります。confocalDT センサは受動部品で構成されていて、周囲に熱放射をしません。

真空内での使用において、マイクロエプシロンはそれぞれの仕様に適した特殊センサ、ケーブル、アクセサリ部品を提供しています。

工業用途に適した弊社の白色光干渉計は、堅固なセンサ、柔軟性の高いセンサケーブル、そしてDINレールに固定できるアル製ハウジングのコントローラで構成されています。コントローラには能動温度制御機能が搭載されています。この機能は周囲温度の変化で補正されるため、比類ない温度安定性が得られます。干渉計の堅固なフォームファクタのおかげで、工業環境下でも優れた性能を発揮します。さらに最大10 mのケーブル長さによって、コントローラとセンサを空間的に隔てることができます。更にクリーンルームや真空下での測定タスクに対応しています。

白色光干渉計は、非可視領域の赤外光（波長約840nm）で動作するため、測定位置が目に見えません。この測定位置を可視化するため、マイクロエプシロンのシステムは測定位置に光点を投影するパイロットレーザーを搭載しました。さらにこのパイロットレーザーは、特許取得済みの方法により、測定位置に加えて距離のフィードバックも行います。測定対象物が正しい距離にあり、測定範囲内に存在する場合は、パイロットレーザーが点灯したままになり、測定対象物が測定範囲外に存在する場合は、パイロットレーザーが点滅します。

コントローラおよびセンサの全ての設定は、追加のソフトウェアを必要とすることなく、使いやすいWebインターフェースを介して実行できます。WebインターフェースはEthernet接続を介して呼び出され、平均化、測定レート、プリセットなどを素早く容易に設定することができます。また、Ethernet、EtherCAT、RS422といった統合インターフェースおよび追加のエンコーダ接続部、アナログ出力、同期入力、デジタルI/Oが搭載されています。マイクロエプシロンのインターフェースモジュールを使用すればPROFINETとEthernetIPも利用可能なので、この干渉計はあらゆる制御システムや生産プログラムに組み込むことができます。

スタンダード品だけでなく、ユーザーの要望に合わせたカスタム対応が可能で完全自動化されたターンキーシステムから、ユーザーの自由度を高めた半自動測定器等も提供しております。

サポート体制も充実で、波面光学・光学計測のプロフェッショナル達が高性能のSHSLabの能力を最大限に活用して、扱いやすく、最高性能の計測器を提供します。これらの計測器はその高い精度・効率・信頼性から、幅広い分野でR&D・製造現場等、様々な部門で採用されています。