半導体・液晶の次世代装置へ向けたレーザスケールの提案
超高精度と高分解能を達成した豊富なレーザスケールラインナップと2次元レーザスケールを展示いたします。
また、全周で±0.1秒以内の高精度で角度を検出する非接触自己校正型ロータリエンコーダは、装置校正用の基準器としても最適です。