ノンパターンウエハ異物検査装置をお探しの場合、是非弊社ブースをご訪問ください。豊富な納入実績から、ご要望にお応えします。
山梨技術工房は、半導体プロセスモニターやウエハ生産で異物管理として使用される、ノンパターンウエハ表面異物検査装置YPIシリーズの製造・販売を行っています。
今回の展示会では、関西学院大学、豊田通商、弊社にて共同開発（※1）した、SiCウエハの製造プロセスで生じる加工歪みを検査する装置を参考出品する他、テープフレーム上のダイシングされたウエハを測定できるYPI-MX TFやバルクSiCウエハ表面の異物測定を行うYPI-MX-DCなどのパネル展示を行います。皆様のご来場をお待ちしています。
(※1) 関西学院大学と豊田通商にて2017年から共同で進めているSiC基板の高品位化と生産性向上が可能な「Dynamic AGE-ing®」技術開発の一環で検査技術の開発を進めており、そこに弊社を加えて共同開発した。
パネル展示
「参考出品」SiCウエハ検査装置 YLS
SiCウエハ用検査装置 YLSは、SiCウエハ表層近傍にウエハ製造プロセスで生じる残留加工歪み層を、ウエハ全面・非破壊・高速でマップ上に可視化し、相対的に比較する検査装置です。残留加工歪み層は、ウエハ良品率低下やパワー半導体の不具合の原因となる事が分かっていましたが、ウエハ全面を可視化できる技術が存在しませんでした。それを解決する装置となります。今回は参考出品となりますが、製品化の早期実現を計画しております。
テープフレームウエハ表面異物検査装置 YPI-MX TF
テープフレームに貼られてプロセス処理される半導体後工程も、異物管理を広く求められるようになっています。YPI-MX TFはテープフレームに貼られたウエハ表面の異物測定が可能な装置で、ダイシング済みウエハや保護テープの糊残渣などの異物管理を目的とした装置です。マニュアル搬送での300mmテープフレーム測定はもちろん、自動搬送にも対応可能な装置となっています。
SiCウエハ表面異物検査装置 YPI-MX-DC
SiCウエハ表面を0.1μmから測定可能な、SiC及びシリコンウエハに対応するウエハ表面異物検査装置です。SiC量産プロセスのプロセスモニターや洗浄管理などに最適な装置となっており、4インチから8インチサイズの異物測定が可能です。またマニュアル搬送やSMIF自動搬送にも対応しており、試作から量産まで幅広いご要望にお応えできます。
ウエハ表面異物検査装置 YPI-MX
シリコンから透明系化合物ウエハなど幅広い分野に適合可能な、ウエハ表面検査装置です。量産プロセスに最適な自動搬送やFOUP・SMIFなどにも対応可能な装置となっています。小径ウエハから300mmウエハまで、幅広い異物測定ニーズにお応えする装置です。
卓上型ウエハ表面検査装置 YPI-MN
研究所や開発拠点など、限られたスペースでウエハ表面異物測定ができるように設計された卓上型装置です。搬送はマニュアルで行い、測定は自動で行うセミオートタイプのウエハ表面検査装置です。
出展製品