アイテス

パワーデバイスやIC、太陽電池や受発光素子といった半導体デバイスやMLCCなどの電子部品からソフトマテリアルといった多岐にわたる硬軟材料の断面観察・分析を高スループットで実現。

・高速・大面積FIB加工
・低加速仕上げによるダメージ層低減
・Cryo-FIB加工
・3Dイメージング
・TEM試料加工の完全自動化

FIB粗加工～TEM試料薄片化仕上げまでオートで実現。
短納期での結果ご提供も可能。

マイクロ波インピーダンス顕微鏡(sMIM)は、キャリア濃度に線形な相関を持つ信号が特徴です。dC/dV信号も取得でき、拡散層の解析に有効です。様々な化合物半導体に対応できます。

・Si  スーパージャンクション型MOSFETの断面解析事例
　標準試料(SSRM-SMPL-P/N)の解析によりキャリア濃度の定量化が可能

・SiC MOSFETの断面解析事例
　キャリア濃度の相対評価が可能
　お客様から標準試料をご支給頂いた場合はキャリア濃度の定量化が可能

シーメンス製（メンター製）のパワーサイクル試験装置を使用した、パワーサイクル試験の受託を行っています。試験に必要な各種治具の作成から対応する事も可能です。

装置概要
PWT2400A   [ シーメンス（メンター）]

・加熱用電源 600A ×4台 を装備
・ゲート用電源 -10V～20V×16台 を装備
・最大 16ch のデバイスを同時に試験
・JESD51-14に準拠した測定法によるTj測定
・試験中に自動で過渡熱抵抗測定の実施
・最高200℃まで対応した冷却プレートを装備
・TOパッケージ用の治具を標準で装備
・水冷式のモジュールにも対応

パワーデバイスの各種観察・測定にも対応しています。 パワーサイクル試験などの試験前後の変化を捉えることが可能です。

・X線での観察
　Cheetah EVO [YXLON] 160kV / 64W マルチフォーカス透過型
　＊オプション 直行CT 及び 斜めCT ユニット リフローシュミレータ

・SATでの観察
　D9600 [SONOSCAN] 音響レンズ  15～230MHｚ

・電気特性測定
　B1505A [KEYSIGHT] 最大電圧 3000V 最大電流 1500A（pulse）

自社開発の欠陥判別ソフトウェアでは、
ドリフト層およびバッファ層のBPDに対して、
すでに90%以上の検出率、10%以下の誤検出率を達成しています。
SSFの判別ソフトは現在開発中です。