ユタカ

大田区,  東京都 
Japan
http://www.yutaka-crown.com
  • 小間番号5312


ガス混合装置、高純度ガス対応圧力調整器、分析・研究用ガス対応機器を取り揃えてお待ちしております。

集積ガスシステム搭載用圧力調整器「L12シリーズ」

CC(シリンダーキャビネット)搭載用圧力調整器「L21シリーズ」

New 低圧大流量用圧力調整器「□□シリーズ」開発中 comming soon !


 出展製品

  • 高純度半導体製造プロセスガス用レギュレーター
    ・集積化ガスシステム搭載用途 L1xシリーズ ・CC(シリンダーキャビネット)搭載用途 L2x/L3x/L8x/L9xシリーズ ・VMB/CMP、Hookup用 R2x/R3x/R7x/R8/RHシリーズ お客様のご用途にマッチした仕様の製品をご提案致します。...

  • L12
  • L12シリーズ
    半導体製造装置に採用される集積化ガスシステム搭載用の小型レギュレーター ...

  • 継手:Wシール・Cシール・1/4UJR

    調整圧力レンジ:-0.08~0.2/0~0.2/0~0.4/0~0.7 (MPa)

  • L21
    CC(シリンダーキャビネット)に搭載される高圧対応モデル。 圧倒的な採用実績。...

  • 外部リークレート:1x10-11pam3/sec 

    入口圧力:~24MPa

    調整圧力:~0.99MPa

    継手:UJR・VCR・他 溶接継手