搬送、貼合など、フラットパネル業界で培った豊富な実績を半導体後工程へ展開したいと考えています。
FO-PLPプロセスで使用されるキャリアパネル用の密閉容器「PANEL FOUP」を開発中です。
SEMI規格に準拠した製品ですが、カスタマイズによる個別対応も可能です。
液晶パネルの輸送用として国内No.1の豊富な実績がある発泡BOXを
φ300ウェハ対応にアレンジした製品を企画しています。
FOSBを使用されている顧客様へ、廉価版としてのご提案が出来ると考えています。