LEVIFLOW® LFSC-Dクランプオンセンサは、PFAチューブ用における正確で非侵襲流量測定用に設計されています。センサハウジングに取り付けられた2つのピエゾトランスデューサが超音波を発生、受信し、フローが存在する場合、流れと同方向の波が加速され、流れと反対方向の波が減速します。この通過時間の差が流体の速度に比例することを利用して流量を測定します。
ロータは、ウエハを固定したり回転する為のウエハチャックを取り付ける為の構造を有しております。即ち、ロータとモータ間の半径方向のギャップはチャンバ壁厚とロータの保護被膜を考慮し広く設計されています。この為、高純度環境化でのウエハ処理に必要とされる独立したクローズドチャンバの設計が可能となっています。
システムの利点
- 超清浄流体に最適: 非侵襲測定
- 完全に非侵襲的: クランプオン、クランプオフ。
- 高精度流量測定: 広い流量レンジと高精度測定
- 高温測定に最適: 最大120°Cの液体温度
- 複数センサ用6チャネルコンバータ: ハイボリュームなアプリケーションへの対応
- 気泡に対するロバスト性の向上: スマートデジタル信号処理
- Levitronix®ポンプへの接続: 非常に正確な流量制御
- 設定可能な流量センサパラメータ: フルスケール、総容積、気泡検出、高流量アラームなどの
様々なパラメータが提供可能