アズビル

藤沢市川名,  神奈川県 
Japan
https://www.azbil.com/jp/
  • 小間番号2802


『デポ課題を解決。成膜・エッチャプロセスの進化に貢献』をテーマに、お客様へ 新たな価値 をご紹介し、ご体感いただきます。

 出展製品

  • デジタルマスフローコントローラ　形 F4Q
    高速応答・低圧損・高精度なデジタルマスフローコントローラが正統進化...

    • 高速応答、低圧損、高精度、豊富な機能で流量制御の課題を解決
  • 熱式微小液体流量計　形 F7M
    高い計測性能、使いやすさを実現した熱式微小液体流量計...

    • 0.1〜50mL/minの微小流量計測可能
    • 小型・軽量で取付け簡単
    • 設置場所・流体を選ばない
    • ストレート流路で様々なアプリケーションに対応
  • アンプ内蔵漏液スイッチ　形 HPQ-D□□
    アンプ内蔵、吸紙不要で様々な液体に対応...

    • 光学式で簡単・迅速なメンテナンスが可能
    • 薬液・環境に応じた製品を準備
    • 薄型構造で狭いスペースに設置が可能
    • ロック機構付きで確実な取付けが可能
  • パイプ取付け液面ファイバユニット　形 HPF-T032□/ HPF-T034□
    確実な液面の検出を実現する豊富なラインナップ...

    • タンク液面の上下限検出にフェールセーフ対応
    • 16光軸で、気泡や水滴の影響もキャンセル
    • PFAジャケットファイバー採用
    • 幅広いパイプ径に対応
    • 光軸位置マーク付き

Categories

400 部品、パーツと付属品
  • センサ
  • 流量調節計-バルブ；メータ-、ゲージ、レギュレータ、流量計（MFC）
  • 真空システム構成要素及び付属品（光学モニター；スパッターターゲット支持台；潤滑油；ポンプオイル；他）
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