プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』 製品画像
フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能で豊富なオプションもご用意

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  • 成膜 ⇔ エッチング装置『210D』 製品画像
    成膜 ⇔ エッチング装置『210D』

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  • ニュース

    セミナー開催のお知らせ
    「SEMICON Japan 2023」開催期間（2023年12月13日～15日）中、セミナーをブースにて行います。詳細は、「プラズマ・サーモ・ジャパン～セミナー開催のお知らせ」をご確認ください。
    2023-11-22 00:00:00.0セミナー・イベント
    「セミコン・ジャパン2023」出展
    「セミコン・ジャパン2023」が、12月13日（水）～15日（金）10:00~17:00、東京ビックサイトで開催されます。弊社のブースは、小間番号4135です。ブースにてセミナー開催も予定しております…
    2023-11-15 00:00:00.0セミナー・イベント
    イタリア　ミラノのTFE-Thin Film Equipmen…
    30年近く、バッチ式PVDスパッタリングや蒸着プロセス装置の開発・製造・ 販売を行っている、イタリア　ミラノにあるTFE–Thin Film Equipment S.r.l.社は、 プラズマ・サー…
    2023-09-20 00:00:00.0企業ニュース
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社 ロゴ

プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社について

製品開発から量産まで一貫サポート！データ時代の半導体産業を支えるプラズマ技術！
当社は、プラズマ技術を応用したエッチング、成膜、切断装置に加え、
ICP, RIE, DSE, IBE, IBD, PECVD, HDPCVD, HDRF F.A.S.T.-ALD装置の販売、
並びに、当該装置に関するカスタマーサービスの提供しております。

米国フロリダ州に本社を構える、Plasma-Therm LLCは、1974年に設立。
設立以来、48年間プラズマ技術を応用した半導体製造装置の製造・販売を
行っています。

ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

▼グループ会社Corial　公式サイト
https://corial.plasmatherm.com/en