NPF:ナノプロセシング施設
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国立研究開発法人 産業技術総合研究所
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マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)
お知らせ
2024年5月9日
【2024/7/10開催】2024年度第1回ARIM量子・電子マテリアル領域セミナー~最先端デバイス技術~
2024年2月19日
ナノプロセシング施設 令和6年度課題登録開始について
2023年12月25日
【NPFセミナー 2024/2/28開催】電子ビーム露光技術~ 進化する電子ビーム露光装置 ~
2023年10月13日
【2023/11/13開催】ARIM量子・電子マテリアル領域セミナー~量子コンピュータの実現に向けて~
2023年3月3日
NPFユーザーミーティング(2023/03/14開催)
お知らせの一覧を見る
施設運転情報
利用停止
2024年5月16日
【NPF001】電子ビーム描画装置(CRESTEC)の運用終了と移設について
New!
利用停止
2024年5月16日
令和6年度 ドラフト法定検査の実施【5/31 13:00~】
New!
お知らせ
2024年5月15日
チラー機器の搬出(2階実験室⇒1階資材搬入出口)
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利用再開
2024年5月15日
【NPF019】多目的エッチング装置 利用再開のお知らせ。
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利用再開
2024年4月24日
【NPF070】XRD装置利用再開
利用停止
2024年4月15日
【NPF104】原子層堆積装置_4[FlexAL] 利用停止 当面の間
利用停止
2024年4月2日
装置廃棄:【NPF088】電界放出形走査電子顕微鏡[S4500_FE-SEM] (2F)
利用再開
2024年4月2日
【NPF068】MPMS EverCool再凝縮装置再生に伴う利用停止⇒利用再開します。
利用停止
2024年3月28日
【NPF081】プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)利用停止のお知らせ
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