研究開発、製造ライン向けソリューションと特殊環境下で適応可能なデバイスなど、幅広いソリューションをご紹介いたします。
【ミニマルファブ】
当社は、試作をはじめとするデバイス作製に関する検討、装置導入支援から立ち上げ、運用、
アフターサービス、教育にいたるまで、ワンストップでソリューションサービスをご提供しております。
SEMICON Japan2023では、ミニマルファブでの人財育成のご紹介とともに、試作事例の紹介や試作のご相談も承っておりますので、
ぜひ当社ブースにお立ち寄りください。
【Piezocon】半導体製造工程でのガス濃度はプロセスに直接影響を与えます。そのガス濃度の安定性の実現、管理の重要性が年々厳しくなってきております。
PIEZOCONは、100ppmオーダーでの濃度管理に加え、濃度変動によって発生するプロセストラブルを解決することができます。
【ペルチェチラー】
環境問題を意識したチラーをご提案致します。
「フロンを使わないため環境に良い」、「ペルチェ素子を使った温度コントロールによる省エネ」、「可動部、交換部品が少ないため故障が少ない」と時代に合ったコンセプトで設計されております。
チラーの置き換えをご検討をされていましたら、是非当社ブースにお立ち寄りください。
【ILC露光工程インラインシステム】
ILC露光工程インラインシステムは、半導体・電子デバイス製造工場の露光装置と塗布/現像装置を連携制御することにより、
露光工程を見える化し業務の省力化、および効率向上を支援するオンラインソフトウェアです。
【装置オンラインシステム】
装置オンラインシステムは、業界標準仕様であるSEMI Standard（GEM, GEM300,EDA I/F）に対応し、
半導体製造装置と上位システム（HOST）のオンライン運用を容易に実現します。
また、装置データ収集プラットフォームの提供にも対応し、装置オンラインと合わせ、
装置稼働率向上を支援します。
【防災ソリューション】
工場の安全対策について過去に事故が起きてないので大丈夫と、先入観をお持ちではないでしょうか、実はどこかに対策漏れがあるかもしれません。人依存の監視ポイントを機械化することで、その不安を解消し課題を解決できます。例えば定期的な巡回点検が難しいユーティリティールームの天井等にある動力ケーブルや排気ダクトに対し、光ファイバ温度センサDTSXをもちいてシステムによる安全監視をご提案致します。
【電流監視による設備保全ソリューション】
生産設備の予防保全で大事なことは、初期の異常状態を発見できること、DCから広域まで負荷電流変動の幅広い監視ができること、そして平常時と何か違う違和感を見える化できることです。
漏電火災による生産停止を未然に防ぐため電流監視による電力ケーブル劣化の予兆診断技術を展示します。
展示予定：パルスリーク電流センサ、AC/DC小型大電流センサ