YOKOGAWAの共通テーマ ‘‘はかる・みる・つなぐ” を基に、横河電機株式会社では”実績が証明する製造装置ソリューション”・”AIで未来を創造する製造装置ソリューション”の2つのソリューション展示と”高安定高分解能シリコン振動式圧力センサ”の技術展示を予定しています。
■半導体製造装置メーカ様向けゾーン
【実績が証明する製造装置ソリューション】
▼抜群の安定供給と実績を誇る高速/高精度なYOKOGAWAのコントローラをご紹介します。老朽化が進む装置の 制御機器リプレイスにもご検討ください。
【AIで未来を創造する製造装置ソリューション】
▼実績あるYOKOGAWAの記録計を使用したデータの収集、AI解析を利用したデータ活用により品質管理に貢献する、クリーンルーム環境モニタリングシステムをご提案します。
▼専門知識なしにAIを活用し、お客様の課題解決にお答えするツール・サービス（プラントAI解析ツール・AI制御学習サービス）をご紹介します。
【シリコンレゾナントセンサ】
▼シリコン振動式圧力センサは長期安定性に優れ、高分解能で高精度の気圧測定や絶対圧測定が可能です。再現性や均一性が求められる最先端の半導体製造の制御にご活用いただけます。（参考出展）