ポーラスチャックメーカの吉岡精工です！ チャックの事であれば、何でもご相談下さい。 皆様のご来場を心よりお待ちしております。
弊社の製作している様々なタイプのポーラスチャックを余すことなくご紹介いたします。
標準的なポーラスチャックはもちろん、加熱機能のついたホットバキュームチャック(HoVaC)
ポーラス面を発光させることでワークの輪郭が浮かび上がる面発光ポーラスチャックなど
真空チャックのことなら弊社にお任せください。
当日はサンプル品での吸着デモを行う他、手で触って頂ける商品を多数展示致しますので
是非皆様のご来場を心よりお待ちしております。
ポーラスチャックの多くはダイシングソーをはじめ各種半導体製造装置や検査装置に組み込まれます
シリコンウェハはもちろん、近年ではフィルムやフレキシブル基板(FPC)紙などありとあらゆる薄物ワークの吸着固定を実現します。
当社のポーラスチャックはお客様の用途・仕様に合わせて製作するオーダーメイド品となり、様々なご要望にお応えします。
「薄いワークを加熱したいけど、固定をしないと反ってしまい、正確な測定や加工ができない……」といったお悩みを解決します。
ヒーターを内蔵することにより、最大250℃までの加熱機能を追加したポーラスチャックなので
吸着と加熱を同時に可能です。
プレート状の部品の積層構造となっており、加熱時の熱変形を最小限に抑える工夫を施しています。
光源を内蔵することにより、発光機能を追加したポーラスチャックです。
「吸着固定＋発光」により多層ウェハの内部パターン検査や、検査ワークのエッジ検査の精度向上などに貢献します。 点発光でなく全面発光となるため、明暗のばらつきを最小限に抑えます。
ウェハのエッジを検査する用途で、外周部のみ発光するエリア分け等のカスタム対応も可能です。 角型形状での製作や発光色の変更（白、赤、青）も対応可能です。
通常より緻密なポーラスを使用することで通常ではエアーリークによる吸着力の低下が発生してしまう部分吸着時にも吸着力の低下が少ないポーラスチャックです。
様々なサイズ、形状のワークを1枚のポーラスチャックで吸着したい際に推奨する製品です。
通常はオーダーメイド製作を行うポーラスチャックですが特定仕様の製品を在庫品とすることで即納することが可能になりました。
サイズは吸着エリアでφ200mmと□100mmの2種類のラインナップです。