菱光社

Koto-ku,  Tokyo 
Japan
http://www.ryokosha.com
  • 小間番号5334


ウェハレベルでの検査、測定に関する製品をご案内しております。

 出展製品

  • レビュー検査顕微鏡システム
    8インチサイズまでのウェハに対応して卓上型のレビュー検査顕微鏡システムです。...

    • レシピに従ってウェハの搬送から検査ポイントの撮影までを自動化！

    特徴

    • ワンクリックで指定ポイントへ自動搬送
    • アライメント機能により検査座標を簡単登録
    • 小径ウェハ、薄ウェハ、8/6インチ兼用検査にも対応

    基本性能

    • ウェハ自動搬送
    • 追従式オートフォーカス
    • レシピ管理
    • レシピ作成
    • 欠陥座標の読み込み
    • 画像取得、簡易計測

Categories

203 装置、検査及び測定
  • ウェーハ：基板測定/トポロジ/ナノトポグラフィ/平坦度測定/結晶方位
  • ライン幅：クリテカル寸法（CD)測定
  • 欠陥/パーテクル/バンプ/汚染検出、評価、検査
  • 測定器/ベンチトップテスト
  • 膜厚：厚さ/均一性測定/エリプソメーター
  • 表面測定
  • 顕微鏡：光学顕微鏡
  • 顕微鏡：共焦点走査型顕微鏡；3-Dビデオ顕微鏡
  • 顕微鏡：原子間力顕微鏡（AFM)
  • 顕微鏡：走査型電子顕微鏡（SEM)/集束イオンビーム/透過型電子顕微鏡（TEM)
    • 207 装置、プロセス
  • SOIボンダー/仮止めボンダー/デボンダー
  • エッチング/ストリッッピング/アッシング-ドライ及びウェット装置
  • リソグラフィ；露光/アライナ/直接描画装置/ステッパ/スキャナ/ナノインプリント
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