ローツェ

福山市神辺町道上,  広島県 
Japan
http://www.rorze.com
  • 小間番号5137


カメラを搭載した大気搬送ロボット、新機構を採用した真空ロボット等を展示しております。是非ローツェブースにお越しください。

ローツェ株式会社は自動化・モーションコントロールのベース部分となる、モータドライバ・コントローラから、ロボット、ロードポート(LP)、アライナ等の自動化単体モジュール、それらを使用したEFEM、ウエハソータ、真空プラットフォーム等の装置に加え、工場HOSTとの通信含めた全てのソフトウェアまで、グループ企業内で全て開発・製造している垂直統合メーカです。 
これまで創業以来30余年の間半導体製造装置メーカ様向けに提供し続けてきたソリューションだけでなく、近年はエンドユーザ様向けのウエハソータ、ベアウェハストッカ、パージ(N2,XCDA)対応ウェハストッカ、ALP(FOUP移載補助装置)等のFAB向けの自動化ソリューションも提供させて頂き、ウルトラクリーン性能及び高い製品信頼性により世界各国のエンドユーザ様からサプライヤー賞頂き、高い評価受けております。

DDM(真空ダイレクトドライブモータ)を駆動部に採用し、高い搬送精度と、高い真空隔壁性能を実現した真空ロボットを展示します。新機構のクロスレッグ構造を採用したフルリンクアームにより、チャンバサイズを変更することなく、従来よりも長距離の搬送を実現しています。併せて、ローツェ独自開発の真空ロボットおよび真空チャンバ用表面処理技術『RM処理』をパネル展示します。低アウトガス、低パーティクル、真空ポンピング時間の短縮を達成した処理技術となります。

ハンド部に独自開発した小型カメラを搭載した搬送ロボットを展示します。搬送位置に配置された2次元コードを認識することによるオートティーチング機能を実演します。また、搬送プロセスをリアルタイムでモニタリングし映像を記録することにより、異常発生時の原因分析を効率的に行うことができます。

予防保全の観点から、ローツェ独自の通信プロトコルを使用したリアルタイムデータ解析のコンセプトをパネル展示、および独自開発のAIによる異常検知機能を実装した搬送ロボットのデモ展示を行います。


 出展製品

  • 真空搬送用ロボット(RR481シリーズ)
    RR481(ブーメランアーム真空ロボット)は駆動部に真空ダイレクトドライブモータを採用したことにより、高い搬送精度と高い真空隔壁性能を実現した真空搬送ロボットです。...

  • 〇DDM(真空・ダイレクト・ドライブ・モーター)を駆動部に搭載

    独自開発のDDMを搭載しており大気と真空の分断に、摺動シールを一切使用しておらず、金属製の隔壁のみを使用しています。そのため、極小のリークレート性能を有しており、超高真空まで対応可能です。

    また、駆動部のフリクションロスが最小限に抑えられているため、非常にスムーズで高精度の搬送動作が可能です。

    〇スチールベルトをアームのリンク駆動に採用

    スチールベルトで駆動されるアーム機構により、小さな旋回エリアでありながらも長いエンドエフェクタの採用を実現しています。

    〇極低放出ガス表面加工処理「RM処理」施工 

    「RM処理」は、真空環境中での真空チャンバ内表面や真空ロボット表面からの放出ガスを、極限まで低減することを目的に開発されました。「RM処理」は加工処理と化学処理を組み合わせた独自の表面処理で、自社工場で施工します。

  • 真空搬送用ロボット(RR492シリーズ)
    RR492(クロスレッグアーム真空ロボット)は駆動部に真空ダイレクトドライブモータを採用したことにより、高い搬送精度と高い真空隔壁性能を実現した真空搬送ロボットです。 またフルリンクアーム機構により、さらに高い位置決め精度を実現しています。 新機構を採用することで、従来のロボットよりも長距離の搬送が可能となっています。(特許出願中)...

  • 〇DDM(真空・ダイレクト・ドライブ・モーター)を駆動部に搭載

    独自開発のDDMを搭載しており大気と真空の分断に、摺動シールを一切使用しておらず、金属製の隔壁のみを使用しています。そのため、極小のリークレート性能を有しており、超高真空まで対応可能です。

    また、駆動部のフリクションロスが最小限に抑えられているため、非常にスムーズで高精度の搬送動作が可能です。

    〇フルリンクアーム機構の採用

    フルリンクアーム機構により、高い位置決め精度を実現しています。アームをクロスさせることでアーム・チャンバとの干渉を避け、チャンバサイズを変更することなく従来のロボットよりも長距離の搬送が可能となっています。また、搬送距離を変えない場合チャンバを小型化することで、装置のフットプリントを低減することも可能となります。

    〇極低放出ガス表面加工処理「RM処理」施工 

    「RM処理」は、真空環境中での真空チャンバ内表面や真空ロボット表面からの放出ガスを、極限まで低減することを目的に開発されました。「RM処理」は加工処理と化学処理を組み合わせた独自の表面処理で、自社工場で施工します。

  • カメラ搭載大気搬送システム
    ハンド部にカメラを搭載した大気搬送ロボットを開発しました。 本ロボットを用いた全自動オートティーチングと搬送モニタリングの実演を行います。...

  • 当社は、装置内の複数のデバイスから得られるデータを活用し、より安全で効率的な搬送手法の研究開発を進めています。 具体的な取り組みとして、2024年春にリリース予定の新しい搬送ロボットでは、ハンド部にカメラを搭載しています。 このカメラは、独自で開発した高解像度かつ小型のもので、可変フォーカスのレンズを採用しており、装置内のさまざまな対象物を鮮明に捉えることができます。 本展示では、新ロボットに搭載される以下の2つの機能を実演いたします。

     

    〇全自動オートティーチング これまでフィールドエンジニアが担当していたティーチング作業を自動化します。 ロボットハンドに搭載されたカメラがステージ上に配置された治具を認識することで、適切な位置にロボットを誘導し、全自動でティーチングポジションを決定します。 また、カメラ映像からロードポートのポートドアが閉まっているなどの異常状態を検知し、ヒューマンエラーによる事故を防止します。

     

    〇搬送モニタリング&レコーディング 搬送プロセスをリアルタイムでモニタリングし、映像を記録します。また、ロボットエラーなど異常が発生した場合には、その瞬間の映像を保護します。 高精細な映像により、搬送中の状況を詳細に把握し、品質管理やトラブルシューティングをより効果的に行えます。

  • 異常検知AI
    独自に開発したAIを用いて、ウエハ搬送装置システムの環境に特化した異常検知を実現します。...

  • ウエハ搬送装置内には様々なデータがあふれています。例えば、ファンの音、振動、装置内の温度や湿度、電力消費量、ロボットの位置や速度などがその一例です。 当社では、EFEM、ロボットやロードポートなど、ウエハ搬送装置システムを構成する主要な要素をすべて自社で設計・生産をしているため、異常検知のためのデータ収集が容易であり、ウエハ搬送装置システムの環境に特化した異常検知が可能です。 装置に設置された多数のセンサからデータを収集し、通常の運用と異なる状態を検出することで、故障や停止を未然に防ぎます。 また、当社は独自のセンサも開発しており、例えば、ロボットハンドと搬送物の距離を測定する近接センサがあります。 こういった特徴的なセンサとAIを組み合わせることで、より効果的な異常検知を実現することができます。