ワイエイシイメカトロニクス

昭島市武蔵野,  東京都 
Japan
http://www.yac.co.jp
  • 小間番号3636


ワイエイシイメカトロニクス株式会社は、お客様のニーズにマッチングした装置を開発・製造・販売しています。

弊社ではSC事業部とWP事業部の二事業部が出展しております。

SC事業部では、前工程ではFOUP・SMIF・8inchカセット、BOXなどを搬送するためのクリーンコンベヤシステム及びウェハー移載機(画像処理・測定器・仕分け)など、特殊仕様のLD/ULDシステムなどを開発・製造・販売・サービスを行っています。
後工程ではIC(集積回路)の最終出荷品質検査に使用されるテストハンドラーの開発・製造・販売・サービスを行っています。

高速選別可能な高温タレットハンドラー、3温度(常温、高温、低温)のテストを一環で選別できる3温ハンドラー、試作品や開発目的の卓上型ハンドラー、チップや製品の外観検査を実施する外観検査機を取り扱っています。

また、カセット・トレイなどの自動包装機などの提供も可能です。

・コンベヤシステム(パネル展示)

半導体工場の他、HDD業界やPV業界、医療業界など様々な分野で納入実績があり、搬送物や設置レイアウトに合わせたコンベヤを設計・製作し様々な要望に対応した搬送システムとして提供可能です。

WP事業部は、半導体向け自動/手動洗浄装置(クリーニングおよびエッチング)、高発電効率太陽電池ウエハ用テクスチャリング装置、 各種精密洗浄装置、半導体製造向けIPA乾燥装置の開発、製造、販売を行なっております。今回は、世界トップシェアを誇るIPAベーパー乾燥装置、及び長年のIPAベーパー乾燥装置の設計・製造経験並びに多くの事例で培ったノウ・ハウをつぎ込み開発したIPAミスト直接乾燥装置を展示し、その性能や仕様を専門スタッフがご説明致します。


 プレスリリース

  • 弊社SC事業部では、前工程ではFOUP・SMIF・8inchカセット、BOXなどを搬送するためのクリーンコンベヤシステム及びウェハー移載機(画像処理・測定器・仕分け)など、特殊仕様のLD/ULDシステムなどを開発・製造・販売・サービスを行っています。
    後工程ではIC(集積回路)の最終出荷品質検査に使用されるテストハンドラーの開発・製造・販売・サービスを行っています。

    高速選別可能な高温タレットハンドラー、3温度(常温、高温、低温)のテストを一環で選別できる3温ハンドラー、試作品や開発目的の卓上型ハンドラー、チップや製品の外観検査を実施する外観検査機を取り扱っています。

    また、カセット・トレイなどの自動包装機などの提供も可能です。


 出展製品

  • コンベヤシステム(パネル展示)
    半導体工場の他、HDD業界やPV業界、医療業界など様々な分野で納入実績があり、搬送物や設置レイアウトに合わせたコンベヤを設計・製作し様々な要望に対応した搬送システムとして提供可能です。...

  • 半導体工場の他、HDD業界やPV業界、医療業界など様々な分野で納入実績があり、搬送物や設置レイアウトに合わせたコンベヤを設計・製作し様々な要望に対応した搬送システムとして提供可能です。
  • 簡易ハンドラー C912
    開発環境だけでなく、少量多品種の生産にも便利な簡易型ハンドラーです。LN2だけでなく冷凍機、その他温度制御装置への接続によるクーリングも可能です。同シリーズのC912Pハンドラーは、ペルチェ素子を搭載しており、フロン・代替フロンを使用しないため、環境にやさしい仕様になっております。...

  • 開発環境だけでなく、少量多品種の生産にも便利な簡易型ハンドラーです。LN2だけでなく冷凍機、その他温度制御装置への接続によるクーリングも可能です。同シリーズのC912Pハンドラーは、ペルチェ素子を搭載しており、フロン・代替フロンを使用しないため、環境にやさしい仕様になっております。
  • 三温ハンドラー T129i
    装置1台で常温テスト、高温テスト、低温テストが行える一貫機です。 供給・収納にはトレイ、テープ、スティック、パーツフィーダー、bin落としなどの選択が可能です。磁場環境でのテストが可能です(オプション)。...

  • 装置1台で常温テスト、高温テスト、低温テストが行える一貫機です。

    供給・収納にはトレイ、テープ、スティック、パーツフィーダー、bin落としなどの選択が可能です。磁場環境でのテストが可能です(オプション)。

  • IPAベーパー凝縮置換乾燥装置
    各種半導体・電子デバイス製造の洗浄プロセスで共通の問題である基板表面のウォーターマーク発生の抑止をターゲットにし、鋭意改善を進め開発した「IPAベーパー凝縮乾燥装置」を提供します。 また、本装置は、基板を乾燥させるのと同時に蒸留されたIPAにより清浄度の高い仕上げ洗浄を行う合理的な洗浄・乾燥方法です。...

  • 本装置は、IPAベーハ発生槽(IPAベーパー置換槽)を高純度石英ガラス製とし、高清浄なIPAベーパーで満たされたIPAベーパー置換槽内に、純水洗浄された基板を浸漬して、基板(20℃)とIPAベーパー(80℃)の温度差により、温度の低い基板表面に凝縮IPAを生じさせます。基板表面に生じた凝縮IPAは、基板表面からが流れ落ちる際に、基板表面の付着水を溶解して、IPA置換しながら基板をIPAベーパー温度まで昇温させます。基板温度がIPAベーパー温度と同じ温度になった時点で、基板表面は、IPA凝縮液で完全置換され、乾燥が完了します。

    また、本装置は清浄な乾燥を要求する光学ガラス・凹凸(複雑形状)部品等、極薄基板( 100µm以下)の乾燥が可能です。

  • IPAミスト直接置換乾燥装置
    IPAベーパー乾燥装置の専門メーカーである当社が、長年のIPAベーパー乾燥装置の設計・製造経験並びに多くの事例で培ったノウ・ハウをつぎ込み、IPAベーパーレスとマランゴニ効果を利用して、ウォーターマークレス乾燥を目的に、鋭意改善を進め開発した「IPAミスト直接置換乾燥装置」を提供します。...

  • 本装置は、純水洗浄槽と乾燥槽が一体のPP処理槽内に基板を浸漬し、純水洗浄後、純水面にIPAガスを吹き付けて、純水面上にIPA雰囲気を形成して、更には、純水面にIPA液層を形成します。

    その後、処理槽内の純水を緩やかに引き下げて、又は、基板をゆっくり引き上げて、基板が純水面からIPAガス雰囲気に引き出る際、純水界面(純水層―IPA液層)に表面張力の局所的な差に起因したマランゴニ力(マランゴニ対流)が生じ、表面張力の小さいIPAに水や溶解して水切り乾燥されます。この時同時に、異物もマランゴニ対流の駆動力を受けて純水層の方向へ移動するので、異物の除去も可能です。また、キャリア使用でもキャリアレス乾燥と同等の乾燥能力を提供できます。