Particle Measuring Systems

川崎市川崎区日進町,  神奈川県 
Japan
https://pmeasuring.jp
  • 小間番号6703

Without measurement there is no control®

Particle Measuring Systems(PMS®)は1972年、世界に先駆けて、レーザーダイオードを用いた光学式パーティクルカウンタを製品化しました。それ以来50年以上にわたり、品質管理と生産性向上に寄与し、効果的な清浄度管理を実現するモニタリング・ソリューションを提供しています。

新製品の展示・デモを行います。
粒径感度10 nmの気中パーティクルカウンタ NanoAir™ 10と専用のスマートマニホールドParticleSeeker™を、ぜひブースでご覧ください。

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 プレスリリース

  • ~最先端電子デバイス製造において高度化する清浄度管理に貢献する製品を紹介~

    PMS日本支社は、2023年12月13日(水)~15日(金)に東京ビッグサイトで開催される SEMICON Japan 2023 に出展いたします(小間番号:6703 / 東6ホール、出展者名:Particle Measuring Systems)。

    PMS日本支社は、米国 Particle Measuring Systems (PMS®)社の日本拠点として、PMS製品の販売とサービスの提供を行っています。PMSは1972年、世界に先駆けて、レーザーダイオードを用いた光学式パーティクルカウンタを製品化しました。それ以来50年以上にわたり、先進のモニタリング・ソリューションを最先端の電子デバイス製造や無菌医薬品製造などの分野に提供しています。

    本展示会では、10 nm の微粒子を検出する新製品 NanoAir™ 10 凝縮型気中パーティクルカウンタ、および専用のスマートマニホールド装置 ParticleSeeker™ のデモを行い、その特徴的な機能をご紹介します。

    【SEMICON Japan 2023 および PMS日本支社ブースについて】
    会期:2023年12月13日(水)~15日(金)  10:00~17:00
    会場:東京ビッグサイト(東京都江東区有明3-11-1)
    小間番号:6703(東6ホール ) 

    SEMICON Japan 2023 公式サイト:https://expo.semi.org/japan2023/Public/enter.aspx
    ※ 出展者リストには、Particle Measuring Systems として登録されています。

    本件に関する連絡先


 出展製品

  • 凝縮型10 nm気中パーティクルカウンタ:NanoAir™ 10
    可測粒径: 10 nm / 流量: 2.8 LPM:局所空間の厳格な清浄度管理に対応。コンパクト設計。多様な用途に応える充実したオプション。 ...

  • NanoAir™ 10 は、ISOクラス1レベルの厳しい基準で管理される清浄区域、特にプロセス装置内の常時モニタリングに適しています。小型で設置自由度が高く、また、凝縮型でありながら、従来型の扱いやすさを備えています。

    多彩な入出力ポートを搭載し、監視制御システムとの融和性が高く、また、アプリケーションに応じて高圧ディフューザ HPD IIIや専用のマニホールド装置 ParticleSeeker™と組み合わせて使用することができます。

  • スマートマニホールド:ParticleSeeker™
    NanoAir™ 10専用の10ポートマニホールド装置。サンプリングシーケンスをプログラム可能。...

  • ParticleSeeker™は、NanoAir™ 10 気中パーティクルカウンタ専用のマニホールド装置です。ParticleSeekerを使用することにより、1台のNanoAir 10で最大 10か所からサンプルを取得できるようになり、最大で120 m2の広さのモニタリングが可能です。

    アプリケーションやモニタリング環境に応じてサンプリングシーケンスを最適化でき、常時モニタリングの効率化を実現します。

  • 純水用20 nm液中パーティクルカウンタ:Ultra DI® 20 Plus
    可測粒径: 20-100 nm / 流量: 75 mLPM:最先端の製造分野で使用される超純水に求められる微粒子管理に対応。冷却機構が安定した高精度測定を実現。...

  • Ultra DI 20 Plus™ は、 超純水のインライン・モニタリング用の光学式液中パーティクルカウンタです。冷却機構を持ち、装置内部で発生する熱を効率よく外部に放出できるため、 恒温槽を必要としません。

    安定した内部温度により、信頼性、再現性の高い測定データが得られます。 恒温槽が不要なため、 設置、 入替、 移動がスムーズに行え、コストとメンテナンスの負担を軽減します。