RPS

Daejeon, 
Korea (South)
http://www.rps-korea.com
  • 小間番号1124

■マイクロドリル&超音波ドリル装備 RUV-400S

乾式エッチング工程でガスを均一に供給する役割をするSi、SiCおよび Quartzなどの電極素材に微細穴(micro drill)加工 

■精密加工用スピンドル製造専門企業

工作機械で工作物の加工するための回転軸で単純な部品として正義されてきましたが、最近では加工物の構造及びデザインが持続的に高度化を要求されることになりスピンドルは機械でより重要な役割を担うようになりました。今後、半導体をはじめとするすべての加工分野では、より精密なスピンドルが要求される見通しです。

Wafer backgrinding & Edge grinding Spindle / Chuck table

Dicing spindle / Chuck table / Wheel mount / Air bearing Cylinder / Mold grinding spindle

工作機械及びその他の専用機精密加工用エアベアリング / ボールベアリングスピンドル 

■ Smart Factory 市場への進入

V-Plus 4.0 特徴 : 精密ベアリング診断および分析システム/ 寿命のある回転体のベアリング(部品)などの破損監視


 出展製品

  • RUV 400S
    マイクロドリル & 超音波マイクロドリル装備(RUV-400S)...

  • 乾式エッチング工程でガスを均一に供給する役割をするSi、SiCおよびQuartzなどの電極素材に微細穴(micro drill)加工

  • Wafer Back Grinding Spindle
    Wafer Back Grinding用の専用スピンドル...

  • インゴットをワイヤで1枚のウェハーに切断した後、両面をグラインディング
    Porous Vacuum Chuck Tableでウェーハを固定し高精度の
    エアベアリングスピンドルでグラインディング
  • Chuck table
    Porous Vacuum Chuck Tableでウェーハを固定...

  • Dicing 工程でWafer 吸着及び固定

  • Air Bearing Cylinder
    Air Bearing Cylinder...

  • 切断したダイをエアシリンダーで基板に精密移送及びマウンティング/ボンディング

  • V-PLUS 4.0
    精密ベアリング診断および分析システム...

  • 寿命のある回転体のベアリング(部品)などの破損監視

    : 回転体(ベアリング)寿命の事前チェック→ 交換時期予測 & モニタリング

      緊急保全↓, 修理待機時間↓, 修理費用↓, 交換リードタイム↓

    工程のモニタリングデータによる最適な工程条件の確立

    : 全ての稼働DATAを精密収集し、異常の可否はもちろんBig DATA診断

      及び分析(事例)を通じて事故原因の把握後、改善(向上)条件の確立対応が可能
      品質不良↓, 加工収率↑