アルミナ・SiC搬送ハンドを中心にしたファインセラミックス部品メーカーになります。
様々な価値をハンドという形で提供いたします。是非ブースでご覧下さい。
ウエハー搬送用ハンド
空洞部分一体型仕様により、SUS製ライナーの貼り合せ無しを実現。接着剤不使用。
アウトガス対策、糸くず対策、リーク対策、長寿命化に効果的です。
静電気拡散アルミナ
高純度なアルミナの特性を保ったまま導電性を付与した特殊なアルミナです。
表面抵抗値制御や耐熱性・耐摩耗が高く、糸くず対策、アウトガス対策に効果的です。
低コンタミSiC（パーティクル・メタルコンタミ対策）
炭化ケイ素（SiC）は下記の特徴があります。
・耐熱温度約2000℃※環境による
・アルミナに比べ約2割ほど軽量
・表面抵抗値10^6Ω程度で除電効果が期待できる
・耐薬品性が高い
しかし、従来パーティクルやメタルコンタミが多い材質です。
弊社では、特殊処理や専用洗浄で対策いたします。数ppb以下の数値実績が御座います。
吸着痕が付きづらい搬送ハンド
微細な孔で構成された多孔質体を搬送ハンドに組み込むことで、搬送するウェハに吸着痕が付きづらくなります。
大型セラミックス
長さ4000mmの大型アルミナセラミックスの焼成・加工が可能