アミリアジャパン

検査を自動化するインテリジェント機能：
ウェハ内部や表面にある欠陥の特徴を人工知能に教師データとして与え、人工知能アナライザーでトレーニングされ、トレーニングされたプログラム（パイプライン）は自動的に欠陥を検出・分類し始めます。

この自動化により、再現性の高く、正確な検査結果が得られ、オペレーターによるエラーの可能性が低くなります。

nSpec®PSは、欠陥のないダイと他のダイを比較し、欠陥のあるすべてのダイの位置座標を報告するプログラム（DI機能）を備えています。欠陥は、パーティクルによるランダムな欠陥であるか、フォトマスクや露光プロセスの条件によって引き起こされる欠陥であるかを問いません。自動化されたnSpec®の洗礼されたソフトはウェハ上で検出されたすべての欠陥の欠陥マップレポートを作成します。

Intelligent features that automate your inspection
An artificial intelligence analyzer trained with sparse data to recognize wafer defects and features of interest. Once trained, the analyzer can be imported into a production tool and begin to automatically detect and classify defects.

This automation creates highly repeatable inspection results and reduces the chance of operator error.

nSpec®PS features a program that compares a die without defects to other dies and reports the position coordinates of all dies with defects, whether random defects caused by particles or systematic defect clusters caused by photomask and exposure process conditions. The automated system then generates a defect map report of all defects detected on the wafer.