私たちは表面温度計を主に取り扱う温度計メーカーで、お客様のご要望の製品の製作もできます。 是非お気軽にお立ち寄り下さい。
半導体製造装置開発・評価用のツールとして光ファイバー温度計、熱電対付きシリコンウェーハを始めとする各種温度センサー、温度計を展示しております。
熱電対やPt、サーミスタなどの電気式温度計では計測困難な高周波・マイクロ波または高電圧などの過酷な環境下において接触式で温度測定が可能です。
温度表示器は1chもしくは4chをご用意しており、9種類のセンサプローブから用途に応じた製品をご選択いただけます。
FLC1000シリーズは、マイクロ波、高周波、高電圧環境下などで使用可能な装置組込用蛍光式光ファイバー温度変換器です。
・100msの高速サンプリング速度
・アナログ出力とシリアル通信の2系統の外部出力によりリアルタイムのデータ収集が可能
・小型で軽量(約450g)な為、装置組込に最適
・専用センサは、汎用耐久タイプ・耐光タイプ・高温タイプの3種類を用意
AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です。
ウェーハサイズ・熱電対センサ点数・熱電対絶縁被覆種類などの項目を自由に組み合わせることができます。また、特注品の対応も可能です。
HR・HRMシリーズは、高精度・信頼性・使いやすさを追求した多目的に使用できるハンディタイプ温度計測器です。
高精度ハンディタイプ温度計HRMシリーズの特長
・校正結果の自動補正で組み合わせ総合許容差±0.30°C(出荷時)を実現
出荷時の検査結果を書き込んだシリーズ専用センサと組み合わせることで、温度計本体が自動補正し、正確な温度を表示します。
用途に応じた表面用温度センサをご用意しております。
WEシリーズ : WEシリーズはセンサ自体の重さにより、置くことで簡単に温度計測することができます。
CSシリーズ : CSシリーズは測温部を小さくした微小表面用の温度センサです。
電子基板のみならずあらゆる物体の表面温度を測定することが出来ます。
ST/STNシリーズ : ST/STNシリーズは極めて薄い柔軟性のあるテープ形状の多目的温度センサです。