半導体製造装置，チヤンバー内のプラズマ分析なら，当社へご相談ください．
イオンエネルギーアナライザー付質量分析計で分析可能
HIDEN ANALYTICAL社の大気圧サンプリング、ガス分析装置 モデルQGA、モデルHPR20、大気圧プラズマ分析装置 モデルHPR60、二次イオン質量分析計 モデルSIMS Workstation、モデルAutoSIMS、モデルCompactSIMS、プラズマイオンエネルギーアナライザ付質量分析計 モデルEQPシリーズ、SIMS式エンドポイントモニター モデルIMP-EPD、UHV自動昇温脱離ガス分析装置 モデルTPD Workstation、ラングミュアプローブ モデルESPION、液中溶存ガス分析計 モデルHPR40 DEMSなどを取り扱っております。
ハイデンアナリティカル社の製品だけでなく、国内仕入部材の販売も行っております。
Henniker Plasma製品を販売開始しました．プラズマ改質装置で，材料への濡れ性，吸着性を良くしたいプロセスがありましたら，ぜひご相談ください．