インターテック販売

品川区,  東京都 
Japan
https://www.itcjs.com/
  • 小間番号5020


グローバルに新たな部品供給ステージアップと幅広いウエハサイズと特化した材料の装置改良をプロダクトイノベーション致します。

外資系装置メーカーRENA社とCPS社と日本代理店として、前工程設備のウェットエッチング

装置並びにCVD装置の新規半導体製造装置販売を手掛けております。

今回、新たにPremtek社のRTP装置もラインナップ追加し代理販売取扱いとなりました。

研究・試作開発並びに量産設備として生産技術の提供をさせて頂き、生産性向上に貢献させて頂きます。

更に前工程プロセス フォトリソ工程の露光装置の光源としてに使用される水銀ランプについて、国内ランプメーカと締結し

ライフタイム長寿命化と装置稼働率向上と安価でコスト削減を提案し、各装置メーカのi線露光機全型式に対応したランプを販売しております。

後工程設備に関しては、新たにDCパラメトリックテスタシステムと計測器(Keysight/Agilent/HP)構成serviceサポート提供致します。

定期校正並びに部品修理等含め対応致します。

 

また、半導体生産における製造装置導入計画に伴う設備投資削減として、中古装置検討や既存装置処分にまつわる全ての相談承ります。

半導体製造装置全工程(前工程、後工程)と、その部品やユニット・附帯設備に至るまで、総合的コンサルテーションや海外メーカー品の代理購買を弊社にお任せ下さい!

*前工程:フォトリソ工程(主に露光装置)を特に得意とし、弊社クリーンルームにて装置デモ評価体制を整えております。

      その他の工程装置含め、弊社リファビッシュ事業展開を図り、お客様ご要求仕様にカスタマイズ承ります。

*後工程:各種プローバー、ダイサー、テスター装置など、幅広く豊富な在庫保有展示。

*部品・ユニット:装置純正未使用部品や保証付き商品在庫多数揃えております。

 真空機器のオーバーホールや部品修理も承ります。

*保守サービス全般:装置立下げ、移設、立上げ、改造等、自社専門技術スタッフ並びに提携者による対応承ります。

*遊休装置・部品処分:いつでも買取査定をさせて頂きますのでお気軽にどうぞ。


 出展製品

  • RTP装置
    新たな海外装置メーカーPremtek社のランプアニール装置を取扱い販売致します。 パワーデバイス等のプロセスに最適で、急速な昇温と降温を実現し、プロセス工程処理時間の短縮化に貢献可能でございます。 イオン注入後のドーパント活性化など、広範囲のアニール処理に最適です。...

  • 2023年に新たな海外装置メーカーPremtek社製のランプアニール装置、RTP-1200Aシリーズの取り扱いをスタート致しました。

    本装置は、サセプタを採用した小口径(200mm以下)向けのフルオート搬送で、化合物半導体向けのメタルアニール用途等に数多くの実績があります。

    真空や酸素検知機能により酸素フリー環境を保ちつつ、独自のランプ配列やマルチステップ温度制御により、高い均一性を実現します。