インフィコン

川崎市高津区, 神奈川県
Japan
http://www.inficon.jp/

インフィコンは真空計測器ならびに半導体産業むけのセンサ技術、プロセス制御ソフトウェア取り扱うリーディングカンパニーです。

新提案　SubFub システム：昨今のエネルギー高騰もあり、生産状況に応じた柔軟な設備のコントロールが強く求められています。
また企業の社会的責任として、エネルギー消費のムダを削減し効率的かつ、環境負荷の少ない工場運用が求められます。INFICONは半導体製造工場で使用される各種設備を効率の良い運用を行うことで電力や水、薬液などの削減し、グリーンファブシステムを実現する新システムをご紹介いたします。
新製品）質量ガス分析計：新製品。最小検出感度10ppb。EUVプロセス対応。微小ハイドロカーボンの検知可。CVD等流体が付着しやすい環境下での使用でも検出可能モデル。
新製品）真空計：ホットイオンゲージの新シリーズTrigon™を展示いたします。
その他各種工程に合わせた様々なタイプのリーク検知センサーを展示いたします。