ウシオは、半導体製造プロセスのイノベーションに「光」で貢献いたします。
■出展内容
1．「光」加熱（ハロゲンヒータ―・フラッシュランプアニール装置・LEDアニール装置）
2．洗浄（エキシマ光照射装置）
3．剥離（UV-LED照射ユニット）
4．計測（紫外線照度計）