エイチ・ティー・エル

立川市, 東京都
Japan
http://www.htlco.co.jp

株式会社エイチ・ティー・エルの出展ブースにぜひお立ち寄りください。

●フォトマスク用座量測定装置、欠陥検査装置　－　ブイ・テクノロジー社製品　

LSI:レジストレーション測定装置、外観検査装置、欠陥修正装置、マスクライター（2nd layer）

FPD:精密座標測定装置、FIB欠陥修正装置、欠陥修正装置、外観検査装置

●ウェーハRTPアニール装置 LEVO6000　－　Levitech社製品

次世代RTP(Rapid Thermal Processing)システム

●走査型超音波顕微鏡　ー　PVA TePla Analytical Systems社製品

高解像度の非破壊検査装置　(マニュアル機/自動機）、以下の機能の搭載が可能

　・低周波のトランスデューサーを高周波 (GHz)帯相当に増幅して検査するTone burst

　・対象物の反りに対応し、常に表面から一定の焦点距離をキープし検査するHiSA

　・上層から下層まで透過検出できるDynamic Through Scan

●卓上型サーマル式 / プラズマ支援　原子層堆積装置（ALD / PEALD)　－　Arradiance社製品

テーブルトップのコンパクトサイズながら原子レベルレイヤーの成膜が可能
カーボンナノチューブ（CNT）やグラフェン、粉体にも成膜可能。

ウェーハRTPアニール装置 LEVO6000　－　Levitech社製品

アンモニアと100%水素などの反応性ガス取り扱い可能な次世代RTP(Rapid Thermal Processing)システム ... More Info Less Info

LEVO6000の主要新機能は従来Levitorシステムの高いスループットと信頼性を継承しつつ、リーク対策と制御システムを改善しております。

・伝導熱による高速加熱冷却(室温→900℃＝1秒)

・高スループットと面内及びロット内温度均一性

・ウエーハに反りが生じず、フォトリソ収率向上

---ランプ型RTPシステムの問題を解決

走査型超音波顕微鏡　ー　PVA TePla Analytical Systems社製品

高解像度の非破壊検査装置　(マニュアル機/自動機） CoWやWoWなどの実装技術において、上層から下層まで透過検出できるDynamic Through Scan搭載可能。 ... More Info Less Info

製品特長

・超音波による非破壊検査が可能
・自社開発の高周波トランスデューサによる、高感度な検査が可能
・特定深さ方向のボイドや剥離の高解像度画像の取得が可能
・R&Dから量産現場でのフルオート機までのラインナップ

適用例

実装基板、接合ウェハー、パワーエレクトロニクス、ディスクリート、コネクター、単結晶インゴットなど

卓上型サーマル式/プラズマ支援　原子層堆積装置 ALD / PEALD Arradiance社製品

テーブルトップのコンパクトサイズながら原子レベルレイヤーの成膜が可能。カーボンナノチューブ（CNT）やグラフェン、粉体にも成膜可能。酸化膜以外にも窒化物、PtやRuの金属の成膜も対応。プラズマ発生ユニット等多彩なオプションを用意。 ... More Info Less Info

ALDとは

ALD（原子堆積法）では原子を一層ずつ成膜することが可能で、均一でピンホールの無い膜を成膜できます。
原子層1層から数百ナノメートルまでの成膜に最適です。
高アスペクト比の構造物やカーボンナノチューブなど複雑な形状にもナノラミネートコーティングが行えます。

成膜材料

Al2O3、SiO2、HfO2、TiO2、ZnO等の酸化物、TiN、AlN、NbN等の窒化物、Pt、Ru金属単体膜など
※詳細は弊社までお問い合わせください。

成膜対象

直径4～8インチ、高さ約25mmまでの構造物、オプションにて200mm角の基板、粉体、カーボンナノチューブ（CNT）やグラフェンにも成膜可能

フォトマスク用座量測定装置、欠陥検査装置等　－　ブイ・テクノロジー社製品

LSI : レジストレーション測定装置、外観検査装置、欠陥修正装置、マスクライター（2nd layer） FPD : 精密座標測定装置、FIB欠陥修正装置、欠陥修正装置、外観検査装置 ... More Info Less Info

ブイテクノロジー社製　フォトマスク用測定機、欠陥検査機、修正機等については、お問い合わせ下さい。