エドワーズ

主な特長

完全一体型コントローラ&電源
このオールインワンターボポンプソリューションにより、従来は必要だった接続ケーブルとラックが不要となります：

• フットプリントの削減、貴重なファブの床面積と設置時間およびコストの節約
• オンボード電源により、高ガス流量でのエネルギー消費を最大32%削減
• 排気速度300～4,500 l/sで動作

超高真空
超高真空シリーズは、比類のない信頼性、性能、清潔さ、クラス最高の低振動レベルを実現します。

• 直流電源によりバッテリーが不要
• ハーフラックコントローラは、自動チューニングと高度な診断機能を完備
• 300～1,000 l/sの速度と到達圧力<10-10 mbarのCFフランジ
• 過酷なプロセス向けの「C」バージョンもご用意

超高真空低振動シリーズ
超高真空低振動バージョンには、超高真空シリーズの全機能に加えて、超低振動性能を実現するための内蔵防振装置が組み込まれています。

エドワーズの半導体ドライポンプラインナップ

• iXMシリーズ：エネルギー消費量が低く抑えられているため、稼働時間の増加・環境への影響の低減・コスト面でメリットを発揮し、本当のプロセス改善をもたらします。
• iXHシリーズ：過酷なプロセス処理能力、信頼性および維持コスト削減のための新しいスタンダードを打ち立てています。
• iXLシリーズ：ウェーハハンドリング、PVD、計測などのライトデューティー用途向けの低エネルギーコンパクトドライポンプです。

主な特徴

• 再生間のクライオポンプ性能を拡張するFast Regen™機能
• お使いのクライオポンプをネットワーク化することで同時再生機能を実現し、システム全体の再生を高速化
• 内蔵マイクロプロセッサ制御による性能強化、通信機能および診断ルーチンの実行
• 高度なソフトウェアと使いやすいグラフィカルユーザインターフェイスで性能と操作が大幅に向上。

Polycoldクライオチラーは、最大4,000ワットの冷却が可能な閉ループ極低温冷凍システムです。このシステムにより、真空プロセス内で水蒸気やその他の凝縮性物質を捕捉し、真空生成の時間と品質の両方を大幅に改善できます。半導体製造で使用される静電チャックの冷却や、信号キャプチャを改善するための各種センサー技術の冷却などの直接冷却用途にも使用可能です。

主な機能

• 冷却能力100～4000ワットのモデルをご用意
• 温度範囲は-203～-98℃
• 定格連続冷却
• CE、SEMI F47、SEMI S2に準拠
• 冷媒ガスは、US EPA-SNAP承認済み、CFCフリー、HCFCフリー、EUの法律に適合
• 信頼できる性能
• 長寿命で低保守または保守不要

• 高い安全性
  各種検知器やセンサー等の安全装置による監視および消火機能により、安全性を確保します。

• 効率的なプリカーサー供給
  コスト削減とリスク削減による安全性の向上が得られます。

• 応用可能で安定した機能
  様々なプリカーサー特性に適用できるタイプをご用意しております。システムの安定性を確保し、継続した供給を行うことでPMダウンタイムを生じさせません。