荏原製作所は、業界最先端の半導体製造現場を支える、真空技術と平坦化技術のリーディングカンパニーです。
本展では、
①半導体製造装置及びサブファブコンポーネント機器
②学生向け未来Collage
の2つのブースを出展致します。
【半導体製造装置・コンポーネント機器】東4ホール ブース番号#4947
CMP装置をはじめとする半導体製造装置及びサブファブコンポーネント機器機器を展示します。
*****新製品******
①プラズマクリーニングシステム：真空ポンプ前段に取付け、副生成物によるポンプの停止を軽減するコンパクト・省エネかつ高効率除去クリーニングシステム
②モジュール型排ガス処理システム：荏原独自の燃焼技術によりコンパクト化を実現した排ガス処理装置。モジュール構造の採用により省スペースかつ立ち上げ時間の短縮を実現
*****展示製品*****
①半導体製造装置 ｜CMP装置、ベベル研磨装置、めっき装置
②サブファブコンポーネント機器｜真空ポンプ、排ガス処理装置、オゾン水製造装置、チラー
③その他｜組込み用液送ポンプ など