各社主要装置メーカーに対応
ノンフロン省エネチラー『ThermoRackシリーズ』
半導体製造⼯程における温度制御チラーとして最適にデザインされています。
ペルチェモジュールによる熱電原理に基づいた温度制御⽅式で、素早い温度応答性と⾼い温度安定性で冷却加熱を制御します。
負荷に対して最小限の電力で温度制御が可能なため、従来のチラーに比べ最大93%消費電力を削減できます。
±0.05℃の温度安定性でウエハー間、ロット間のバラつきを改善しスループットの向上を実現します。
コンパクトなリザーバーとシールレスポンプを搭載した完全密閉設計により、貴重なフッ素系循環液の使用量とロスを最小限に抑えることができます。
- 素早い温度応答性
- 優れた温度安定性
- 騒⾳・振動を低減
- フロンガス不使⽤
- Fluorinert Galdenに対応
- 消費電⼒を最⼤93%削減
- 19インチラックに収まる省スペース