大塚電子

枚方市招提田近,  大阪府 
Japan
http://www.otsukael.jp
  • 小間番号4212

”インラインで測定する“ 半導体製造工程の中で、膜厚・粒子径測定技術で提供できる価値を、実際の測定がイメージできる装置を通して、ご覧いただけます。
ぜひ弊社ブースにて実機をお近くでご覧ください。各種資料を取り揃えて、皆様のご来場をお待ちしております。
 


 出展製品

  • 顕微分光膜厚計 OPTMseries
    300mmウェーハにも対応。 ウェーハのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定可能...

    • 絶対反射率測定により光学定数解析
      (n:屈折率、k:消衰係数)が可能
    • 1ポイント1秒の高速測定が可能
    • カメラ機能で見たい位置を狙ってパターンをアライメントすることが可能
  • ラインスキャン膜厚計®
    ウェーハの膜厚をラインスキャン方式で高速・高精度に測定...

    • 1分で面内分布を高速測定
    • 複数膜の2層同時測定が可能
    • ポイント測定では見れない、細かな凹凸を可視化
  • 光波動場三次元顕微鏡 MINUK
    nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能...

    • 1ショットで深さ方向の情報を取得
    • フォーカス不要で高速測定が可能
    • 非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能
    • 任意の面を高速スキャンし測定位置の決定が容易
  • 分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
    ウェーハの研削研磨プロセスによる厚みを超高速・高精度に測定...

    • 高速測定(5kHz~)によりリアルタイムモニターに最適
    • 高い安定性(繰返し精度0.01% 以下)
    • 測定スポット径がφ20μmのため表面粗さの影響を受けにくい
  • マルチチャンネル分光器 MCPD-9800
    高速でリアルタイムにモニタリングが可能...

    • フレキシブルファイバー光学系のため半導体プロセス装置に組込みが容易
    • 高速測定(最短5ms~)
    • 研磨中の膜厚終点検出にも最適