• 小間番号5526

当社クリーンルームにて各種デモが可能です。 営業技術担当がデモ内容の打ち合わせから実演、仕様決め迄トータルサポートします。

設計・製造・技術の要

株式会社カナメックスです。

実機出展

・枚葉式スピン洗浄装置

　ウエハ表面の有機物やパーティクルを洗剤や純水で物理洗浄（ブラシや高圧ジェットなど）、

　純水リンス後、溶剤で置換しＮ２ガスブロー併用でスピン乾燥させます。

　ウォーターマークレスでの乾燥が可能です。　省薬液で低環境負荷の処理が行えます。

　スピンチャックはウエハ外周ピン保持とバキューム保持と切り替えが可能です。

その他、パネル展示等

・枚葉スピン式自動ＲＣＡ洗浄装置

・マルチミキサー式自動スピンエッチング装置

・多段循環式自動スピンエッチング装置

・Au、Ti、Cuなど各種メタルエッチング装置

・ＣＭＰ・各種研磨後用　スクラブ洗浄装置

・微細シリコン貫通電極用洗浄装置

　減圧チャンバーにより貫通電極の洗浄が行えます。

・その他フォトリソ関連装置

　（塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄）

・自動反転機構付きマスク洗浄装置（熱硫酸＋エキシマＵＶ付き）

・コーターデベロッパー

・ドライフィルム現像装置

・ドライフィルム剥離装置

・大型スピン現像装置　(□500㎜対応）

・枚葉式スピン　メタルリフトオフ装置

当社クリーンルームにてフォトリソ工程の各種デモが可能です。

営業技術担当がデモ内容の打ち合わせから実演、

仕様決め迄トータルサポートします。

当社ブースへのご来場お待ちしております。

 出展製品