カナメックス

厚木市,  神奈川県 
Japan
http://www.kanamex.co.jp
  • 小間番号5526


当社クリーンルームにて各種デモが可能です。 営業技術担当がデモ内容の打ち合わせから実演、仕様決め迄トータルサポートします。

設計・製造・技術の要

株式会社カナメックスです。

実機出展

・枚葉式スピン洗浄装置

 ウエハ表面の有機物やパーティクルを洗剤や純水で物理洗浄(ブラシや高圧ジェットなど)、

 純水リンス後、溶剤で置換しN2ガスブロー併用でスピン乾燥させます。

 ウォーターマークレスでの乾燥が可能です。 省薬液で低環境負荷の処理が行えます。

 スピンチャックはウエハ外周ピン保持とバキューム保持と切り替えが可能です。

その他、パネル展示等

・枚葉スピン式自動RCA洗浄装置

・マルチミキサー式自動スピンエッチング装置

・多段循環式自動スピンエッチング装置

・Au、Ti、Cuなど各種メタルエッチング装置

・CMP・各種研磨後用 スクラブ洗浄装置

・微細シリコン貫通電極用洗浄装置

 減圧チャンバーにより貫通電極の洗浄が行えます。

・その他フォトリソ関連装置

 (塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄)

・自動反転機構付きマスク洗浄装置(熱硫酸+エキシマUV付き)

・コーターデベロッパー

・ドライフィルム現像装置

・ドライフィルム剥離装置

・大型スピン現像装置 (□500㎜対応)

・枚葉式スピン メタルリフトオフ装置

当社クリーンルームにてフォトリソ工程の各種デモが可能です。

営業技術担当がデモ内容の打ち合わせから実演、

仕様決め迄トータルサポートします。

当社ブースへのご来場お待ちしております。


 出展製品

  • 枚葉式スピン洗浄装置
    スピン洗浄装置、エキシマUV装置、オゾン水生成装置を実機展示しておりますので、是非弊社ブースへお越しください。...

  • 洗浄能力を強化しつつ、洗浄ダメージを抑えた新型ブラシ他多種多様な洗浄ツールを搭載しています。